Depozice tenkých vrstev pomocí iontového naprašování IBS/IBAD

Abstract

Předkládaná bakalářská práce se zabývá návrhem a konstrukcí nového transportního držáku paletky, která je určena pro depoziční aparaturu ústavu fyzikálního inženýrství, nazývanou jako „Kaufmann.“ Aparatura slouží k depozici tenkých vrstev pomocí iontového naprašování. Úvodní kapitoly práce pojednávají o možnostech výroby tenkých vrstev, způsobu jejich růstu a úvodu do problematiky fyziky vakua a vakuových zařízeních. Následující kapitola je věnována stávající depozici a stávajícímu depozičnímu zařízení Kaufmann. V další kapitole je popis konstrukčního řešení nového držáku paletky a paletky samotné spolu i s příslušenstvím. Poslední kapitola je věnována kalibraci a optimalizaci depozice s novou paletkou.The submitted bachelor’s thesis are dealed with concept and design of holder of new palette, which is determine for deposition equipment, which belongs to institue of physical engineering and which is called as Kaufmann. Introductory chapters of bachelor’s thesis deals about possibilities of production of thin films, ways of growth of thin films and introduction to vakuum physics. Next chapter is given to current deposition and current deposition equipment Kaufmann. In the next chapter are descriptions of construct solution of holder of new palette and construct solution of palette. The last chapter is given to calibration and optimalization of deposition with new palette.