Návrh a realizace řídicí elektroniky pro mikropoziční systém universálního hrotového měřicího zařízení

Abstract

Práce se zabývá problematikou snímání polohy a řízení pohybu mikropozičního zařízení. Jejím cílem je navrhnout a zkonstruovat řídicí elektroniku pro mikropoziční systém universálního hrotového měřicího zařízení, které může být využito například pro měření parametrů struktur tlustovrstvých a tenkovrstvých technologií. Parametry substrátu budou měřeny prostřednictvím měřicích hrotů. Ty musí být zaměřeny na měřenou pozici s vysokou přesností, která je zajištěna použitím krokových motorů. Pro pohyb pojezdu s vlastním substrátem je použito stejnosměrných motorů. Pozice pojezdu je snímána ve dvou osách optickými CCD snímači polohy. Práce zahrnuje i návrh řídicího programu pro mikrokontrolery všech navržených elektronických systémů, jejichž činnost je řízena prostřednictvím vybrané sériové sběrnice.This work deals with design and construction of the drive unit for universal tips measurement micropositioning system. Measurement system can be used for measuring parameters of structures as thick film layers and thin film layers. The parameters of substrate will be measured by measuring tips. These tips must be fixed on target position by using stepper motors with high accuracy. For movement of substrate will be used two direct-current motors. Position of this substrate is scanned in two axes by two optical CCD chips. This work contains the proposal of software for all used microcontrollers. Activity of system is controlled by certain serial bus.