Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS
Loading...
Date
Authors
Duda, Radek
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
ORCID
Abstract
Studium možností hloubkového profilování vrstev kombinací metod SIMS a TOF-LEIS.
Study of possibilities of thin layers depth profiling by combined use of SIMS and ToF-LEIS methods.
Study of possibilities of thin layers depth profiling by combined use of SIMS and ToF-LEIS methods.
Description
Keywords
Citation
DUDA, R. Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2008-06-10
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena