Techniky využívající svazek nabitých částic k zobrazení a analýze materiálů
Loading...
Date
Authors
Lamborová, Leona
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
ORCID
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá technikami využívající svazek nabitých částic pro zobrazení a analýzu materiálu. Mezi nabité částice využívající se pro tyto účely patří elektrony a ionty. Tato rešeršní práce je tedy rozdělena na podstatu elektronové a podstatu iontové optiky. Dále je zde pojednáno o principu funkce, konstrukci a detektorech, které slouží k obrazové a chemické analýze skenovací elektronové mikroskopie, transmisní elektronové mikroskopie a metody fokusovaného iontového svazku.
This bachelor´s thesis deals with techniques using beam of charged particles for imaging and material analysis. There are two types of charged particles that are used for this purpose, electrons and ions. This research study is divided into principles of electron optics and principles of ion optics. Further, there is mentioned function, construction and detectors used for imaging and chemical analysis of scanning electron microscopy, transmission electron microscopy and focused ion beam.
This bachelor´s thesis deals with techniques using beam of charged particles for imaging and material analysis. There are two types of charged particles that are used for this purpose, electrons and ions. This research study is divided into principles of electron optics and principles of ion optics. Further, there is mentioned function, construction and detectors used for imaging and chemical analysis of scanning electron microscopy, transmission electron microscopy and focused ion beam.
Description
Citation
LAMBOROVÁ, L. Techniky využívající svazek nabitých částic k zobrazení a analýze materiálů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Základy strojního inženýrství
Comittee
doc. Ing. Vít Jan, Ph.D. (předseda)
doc. Ing. Bohumil Pacal, CSc. (místopředseda)
doc. Ing. David Salamon, Ph.D. (člen)
Ing. Lenka Klakurková, Ph.D. (člen)
Ing. Libor Válka, CSc. (člen)
prof. Ing. Tomáš Podrábský, CSc. (člen)
Date of acceptance
2019-06-12
Defence
Je důležitější informace o rozlišitelné vzdálenosti nebo o zvětšení?
Které elektronové emisní trysky se používají častěji?
Jaká je životnost elektronové trysky?
Vysvětlete zobrazení pomocí ET detektoru s negativním a pozitivním nábojem.
Jaký je rozdíl mezi EDS a VDS?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena