Pokročilé techniky SPM měření elektrických vlastností materiálů

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na návrh řešení techniky pro měření lokálních elektrických vlastností vzorku v kontaktním režimu mikroskopie atomárních sil. Rešeršní část popisuje nejvíce rozšířené techniky měření těchto elektrických vlastností spadajících do rastrovací sondové mikroskopie. K realizaci byla zvolena technika rastrovací odporová mikroskopie. Důležitou součástí této techniky jsou zesilovače proudu. Z tohoto důvodu jsou podrobně popsány operační zesilovače, jeho různá zapojení a následná implementace nového zesilovače na mikroskop. Zbylá část se věnuje popisu a přípravě vzorků, na kterých byla funkčnost zesilovače a techniky testována.This bachelor thesis is concerned about development of local electric properties characterization technique of sample in contact mode of Atomic Force Microscopy. The research part describes the most expanded techniques of characterization of local electric properties using Scanning Probe Microscopy. For realization was chosen Scanning Spreading Resistance Microscopy. Important part of this technique is current amplifier. For that reason, operational amplifiers, circuits with them and implementation of new amplifier on microscop are described. Last chapter is dedicated to description of samples, which were used to test functionality of the amplifier and technique.