Aplikace kyslíkových atomárních svazků

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. Mgr. Dominik Munzar, Dr. (člen) doc. Mgr. Adam Dubroka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Petráček, Dr. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Význam veličin v rovnici (1.2) a (1.4). Důvody použití iridiového drátu ve zdroji. Student na otázky k teoretické části práce odpověděl.cs
but.jazykangličtina (English)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorMach, Jindřichen
dc.contributor.authorMikerásek, Vojtěchen
dc.contributor.refereeČech, Vladimíren
dc.date.accessioned2023-07-17T09:10:53Z
dc.date.available2023-07-17T09:10:53Z
dc.date.created2023cs
dc.description.abstractV diplomové práci je popsán návrh, konstrukce a testování termálního zdroje svazku atomárního kyslíku, který je určen k růstu tenkých oxidových vrstev v podmínkách ultra vysokého vakua. První kapitola pojednává o teorii spjaté s termální disociací a tvorbou atomárních svazků. Dále jsou uvedeny hlavní typy zdrojů svazků atomárního kyslíku a jeho aplikace. Experimentální část je věnována samotnému návrhu zařízení, konstrukci a jeho složení. V poslední část je popsáno testování vlivu atomárního kyslíku na vznik oxidových vrstev (stechiometricky Ga2O3) na nanokapičkách Ga na křemíkovém substrátu připraveného molekulární svazkovou epitaxí. Chemické složení a morfologie připravených nanostruktur jsou zkoumány metodou XPS, SEM a TEM.en
dc.description.abstractThis diploma thesis describes the design, construction, and testing of a thermal atomic oxygen beam source for the growth of thin oxide layers under ultra-high vacuum conditions. The first chapter discusses the theory associated with thermal dissociation and atomic beam formation. Then, the main types of atomic oxygen beam sources and their applications are presented. The experimental part is devoted to the actual design, construction and assembly of the device. The last part describes the testing of the effect of atomic oxygen on the formation of oxide layers (stoichiometrically Ga2O3) on Ga nanodroplets prepared by molecular beam epitaxy on a Si substrate. The chemical composition and morphology of the prepared nanostructures are studied by XPS, SEM and TEM.cs
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationMIKERÁSEK, V. Aplikace kyslíkových atomárních svazků [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2023.cs
dc.identifier.other149084cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/213393
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectatomární zdrojen
dc.subjecttermální svazky atomů kyslíkuen
dc.subjectGaen
dc.subjectGa2O3en
dc.subjectdepoziceen
dc.subjectmolekulární svazková epitaxeen
dc.subjectatomic sourcecs
dc.subjectthermal oxygen atom beamcs
dc.subjectGacs
dc.subjectGa2O3cs
dc.subjectdepositioncs
dc.subjectmolecular-beam epitaxycs
dc.titleAplikace kyslíkových atomárních svazkůen
dc.title.alternativeApplication of oxygen atomic beamscs
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2023-06-19cs
dcterms.modified2023-06-21-13:48:31cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid149084en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2023.07.17 11:10:53en
sync.item.modts2023.07.17 09:56:35en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
13.88 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
6.47 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_149084.html
Size:
7.87 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_149084.html
Download
Collections
2023