Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Sn a Zn

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorMach, Jindřichcs
dc.contributor.authorHorák, Stanislavcs
dc.contributor.refereeKolíbal, Miroslavcs
dc.date.accessioned2018-10-21T21:09:46Z
dc.date.available2018-10-21T21:09:46Z
dc.date.created2016cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá návrhem a sestavením efuzních cel pro depozici ultra- tenkých vrstev zinku a cínu. V práci jsou úvodem vysvětleny principy funkce efuzních cel, jako je metoda molekulární svazkové epitaxe (MBE) a tvorba efuzního toku. Dále je uve- dené shrnutí obecné konstrukce atomarních zdrojů a rešeršní studie o růstu ultratenkých vrstev a nanostruktur zinku, cínu a jejich sloučenin. V praktické části byly vytvořeny dva návrhy efuzních cel s radiačním ohřevem z karbidu křemíku a ohřevem pomocí dopadu elektronů. Přílohou práce je kompletní výkresová dokumentace navržených efuzních celcs
dc.description.abstractThis bachelor thesis deals with the design and the construction of effusion cells for the deposition of zinc and tin ultrathin layers. In the introductory part there is an explanation of principles of eusion cells' functions, like a molecular beam epitaxy (MBE) or a construction of the efussion ow. Furthermore, the work describes a general principles of a ccreation of the atom sources. Theoretical part ends with review about the growth of ultrathin layers and nanostructures of zinc, tin and their compounds. Experimental part provides a design of the effusion cells with radiation heating from silicon carbide and heating by electrons impact. The complete drawing documentation of the designed effusion cells is included in the attachment.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationHORÁK, S. Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Sn a Zn [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.cs
dc.identifier.other93118cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/61006
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectAtomární zdrojcs
dc.subjectefuzní celacs
dc.subjectMBEcs
dc.subjectultratenká vrstvacs
dc.subjectZnOcs
dc.subjectnanotrubičkycs
dc.subjectSiCcs
dc.subjectCVD.cs
dc.subjectAtom sourceen
dc.subjecteffusion cellen
dc.subjectMBEen
dc.subjectultrathin layeren
dc.subjectZnOen
dc.subjectnanotubesen
dc.subjectSiCen
dc.subjectCVD.en
dc.titleNávrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Sn a Zncs
dc.title.alternativeDesign of an effusion cell for the deposition of Sn and Zn ultrathin layersen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2016-06-23cs
dcterms.modified2016-06-24-09:02:18cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid93118en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 16:09:14en
sync.item.modts2021.11.12 15:29:02en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
3.06 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
5.32 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_93118.html
Size:
7.82 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_93118.html
Download
Collections
2016