Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Loading...
Date
Authors
Čudek, Pavel
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Práce se zabývá úpravou a stavbou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop. Popisuje problematiku rastrovací enviromentální elektronové mikroskopie, typy detektorů a detekci sekundárních elektronů. Obsahem praktické části je návrh a stavba nového scintilačního detektoru na základě simulací drah sekundárních elektronů. U realizovaného detektoru pak proměření jeho parametrů, proměření tlakových závislostí a optimalizace elektrodového systému.
The thesis deals with modifying and biulding of scintilation detector of secondary electrons for environmental scanning electron microscopy. It describes dilemma of environmental scanning electron microscopy, types of detectors and secondary electrons detection. The experimental part of this thesis focuses on the design and construction of new scintillation detector on the basis of simulations secondary electrons trajectories. Identifying the parameters, pressure dependencies and optimizations of electrode system of the detector realized.
The thesis deals with modifying and biulding of scintilation detector of secondary electrons for environmental scanning electron microscopy. It describes dilemma of environmental scanning electron microscopy, types of detectors and secondary electrons detection. The experimental part of this thesis focuses on the design and construction of new scintillation detector on the basis of simulations secondary electrons trajectories. Identifying the parameters, pressure dependencies and optimizations of electrode system of the detector realized.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (REM) , enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM) , scintilační detektor (SD) , scintilační detektor pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (SD-EREM) , sekundární elektrony (SE). , Scanning electron microscopy (SEM) , environmental scanning electron microscopy (ESEM) , scintillation detector (SD) , scintillation detector for environmental scanning electron microscopy (SD-ESEM) , secondary electrons (SE).
Citation
ČUDEK, P. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
prof. Ing. Vojtěch Koráb, Dr., MBA (místopředseda)
prof. Ing. Lubomír Hudec, DrSc. (člen)
Ing. Zdenka Rozsívalová (člen)
doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2008-06-10
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s podstatnou částí své závěrečné práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Z jakého důvodu je v oblasti scintilátorů potřeba vysoké vakuum.
Vysvětlete funkci scintilátoru.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena