Vývoj atomárních a iontových svazkových zdrojů

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorMach, Jindřichcs
dc.contributor.authorTihlařík, Jancs
dc.contributor.refereeVoborný, Stanislavcs
dc.date.accessioned2019-05-17T12:15:14Z
dc.date.available2019-05-17T12:15:14Z
dc.date.created2010cs
dc.description.abstractPráce se zabývá problematikou tvorby iontových svazků. Je zde popsán vliv iontové optiky na formování svazku a růst ultratenkých vrstev GaN, jakož i optimalizace zdroje k depozici a měření vlastností iontového svazku. V rámci práce byly provedeny depozice GaN ultratenkých vrstev na substrát Si(111)dH za pokojové teploty pro různá nastavení elektrických potenciálů na elektrodách iontově-atomárního zdroje.cs
dc.description.abstractThis text is oriented for problems of creating ion beams. Thesis also describe the impact of ion optics to ion beam profile and preparing GaN layers. Also ion-atom source optimization and analysis of beam properties are there described. Also it was made deposition of GaN ultrathin layers on Si(111)dH at room temperature for different settings of atom-ion source electric electrodes.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationTIHLAŘÍK, J. Vývoj atomárních a iontových svazkových zdrojů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010.cs
dc.identifier.other30122cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/1738
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectiontově-atomární svazkový zdrojcs
dc.subjectoptimalizacecs
dc.subjectproudový profil svazkucs
dc.subjectpříprava GaN vrstevcs
dc.subjectatom-ion beam sourceen
dc.subjectoptimizationen
dc.subjection beam profileen
dc.subjectpreparing GaN layersen
dc.titleVývoj atomárních a iontových svazkových zdrojůcs
dc.title.alternativeDevelopment of the Atom and Ion Beam Sourcesen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2010-06-17cs
dcterms.modified2010-07-13-11:45:04cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid30122en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 23:03:14en
sync.item.modts2021.11.12 22:16:28en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
3.14 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_30122.html
Size:
11.12 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_30122.html
Collections