Automatizace a řízení depozice multivrstev metodou IBS/IBAD
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Urbánek, Michal | cs |
| dc.contributor.author | Pavera, Michal | cs |
| dc.contributor.referee | Sobota, Jaroslav | cs |
| dc.date.created | 2011 | cs |
| dc.description.abstract | Předkládaná diplomová práce se zabývá automatizací depozičního procesu metodou iontového naprašování a iontového naprašování za použití asistujícího iontového svazku. Práce obsahuje výkresovou dokumentaci mechanických úprav depoziční komory navržených za účelem ovládání clony substrátu a otáčení terče pomocí krokových motorů. Jsou prezentovány způsoby ovládání krokových motorů a řešeny problémy s jejich přesným nastavením. Dalším úkolem je návrh systému pro počítačové řízení depozičního procesu. Jsou diskutovány způsoby ovládání iontových zdrojů, měrky tlaku, průtokoměru, tloušťkoměru a jejich propojení s počítačem prostřednictvím sběrnice RS-232 a analogově digitálních převodníků. Dále je navržen ovládací program v programovacím nástroji LabVIEW, s jehož pomocí je možná automatická depozice multivrstev. Na závěr je provedeno testování automatické depozice a výsledky jsou komentovány. | cs |
| dc.description.abstract | This diploma thesis deals with the automation of the deposition process by ion beam sputtering and ion beam assisted deposition. This work contains drawings of mechanical adjustments of the deposition chamber designed to control shutter and rotation of the target using stepper motors. There are presented ways to control stepper motors and troubleshoot their exact settings. Another task is to design a system for computer control of the deposition process. There are discussed ways to control the ion sources, pressure meter, flow meter and thickness meter, and their connection to a PC via RS-232 and analog-digital converters. It is also designed control program in LabVIEW, which allow automated multilayer deposition. Last part of the thesis deals with testing automatic deposition and results are commented. | en |
| dc.description.mark | B | cs |
| dc.identifier.citation | PAVERA, M. Automatizace a řízení depozice multivrstev metodou IBS/IBAD [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2011. | cs |
| dc.identifier.other | 36860 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/16279 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Iontové naprašování | cs |
| dc.subject | IBAD | cs |
| dc.subject | IBS | cs |
| dc.subject | depozice tenkých vrstev | cs |
| dc.subject | LabVIEW. | cs |
| dc.subject | Ion sputtering | en |
| dc.subject | IBAD | en |
| dc.subject | IBS | en |
| dc.subject | thin film deposition | en |
| dc.subject | LabVIEW. | en |
| dc.title | Automatizace a řízení depozice multivrstev metodou IBS/IBAD | cs |
| dc.title.alternative | Automation and control of multilayers deposition by IBS/IBAD | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2011-06-20 | cs |
| dcterms.modified | 2024-05-17-12:49:28 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 36860 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.27 06:51:07 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 22:48:07 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |