Vliv vibrací na kvalitu snímků elektronového mikroskopu

Abstract

Práce se zabývá jedním z parazitních vlivů působících na elektronový mikroskop během pořizování snímků, a to vibracemi. Jejich vliv na kvalitu snímku je zásadní a proto je žádoucí zjistit původ vibrací a způsob, jakým se na zařízení přenášejí, a pokusit se je co nejvíce eliminovat. Součástí práce je měření, jehož účelem je prověření zdrojů vibrací nacházejících se na zařízení i mimo něj.My thesis focuses on one the parasitic factors influencing an electron microscope during recording - i.e. the vibrations. Their impact on the quality of the shots is crucial and it is thus desirable to discover the origin of the vibrations and the way they are transmitted on the device and also to strive to eliminate this phenomen as much as possible. Measurements to estimate the source of vibration on the device as well as in its surrounding are a part of my work.