Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Loading...
Date
Authors
Šeda, Miroslav
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru.
The main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.
The main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.
Description
Keywords
Mikro-elektro-mechanické systémy , litografie , leptání , depozice , uhlíkové nanotrubice , depozice z plynné fáze , depozice z pevné fáze , skenovací elektronový mikroskop. , Micro – electro – mechanical - sytems , litography , etching , deposition , carbon nanotubes , plasma enhanced chemical vapour deposition , physical vapour deposition scanning electron microscopy.
Citation
ŠEDA, M. Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika
Comittee
doc. Ing. František Urban, CSc. (předseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (člen)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Date of acceptance
2008-06-09
Defence
Student seznámil komisi s obsahem své diplomové práce. Odpověděl na otázky oponenta a čelnů komise.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena