Analýza komory diferenciálního čerpání EREM pomocí systému Cosmos FloWorks
Loading...
Date
Authors
Jašek, Michal
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
V práci bude nejprve popsána stručná problematika elektronové mikroskopie a následně v systému SolidWorks vymodelovány vybrané tři tvary komory diferenciálního čerpání, na kterých bude pomocí systému Cosmos FloWorks provedena analýza čerpání plynu pro vytvoření vakua. Výsledky analýzy budou podrobeny zhodnocení vzhledem k požadavku, aby v dráze primárního svazku elektronů byl co nejnižší tlak z důvodu zabránění jeho rozptylu.
The paper outlines fundamental issues of electron microscopy and models three selected shapes of the differential chamber using the SolidWorks system. The models are then analysed using Cosmos FloWorks with regard to vacuum pumping. The aim is to find a model with minimum pressure in the electron beam trajectory and hence the least dissipation.
The paper outlines fundamental issues of electron microscopy and models three selected shapes of the differential chamber using the SolidWorks system. The models are then analysed using Cosmos FloWorks with regard to vacuum pumping. The aim is to find a model with minimum pressure in the electron beam trajectory and hence the least dissipation.
Description
Citation
JAŠEK, M. Analýza komory diferenciálního čerpání EREM pomocí systému Cosmos FloWorks [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (předseda)
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. František Bartes, CSc. (člen)
doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Petr Křivík, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2009-06-09
Defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi se zadáním, zpracováním a výsledky své diplomové práce
a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
1. Čím si vysvětlujete nárůst tlaku a pokles rychlosti částic plynu v oblasti před clonkou PLA2 ?
2. Doporučte postup dalších prací v této oblasti.
3. Výhody Lavalovy dýzy.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena