Studium vlastností periodických mřížek vytvořených elektronovou litografii

Krátký, Stanislav

Studium vlastností periodických mřížek vytvořených elektronovou litografii

but.committee	prof. Ing. Lubomír Hudec, DrSc. (předseda) RNDr. Ladislav Mareček, CSc. (místopředseda) doc. Ing. Radovan Novotný, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (člen) Ing. Zdenka Rozsívalová (člen)	cs
but.defence	Student seznámil komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl následující otázky: Otázky oponenta: 1. Zkuste objasnit pokles hloubky pro vzorky se stejnou expoziční dávkou a s periodou	cs
but.jazyk	čeština (Czech)
but.program	Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika	cs
but.result	práce byla úspěšně obhájena	cs
dc.contributor.advisor	Matějka, Milan	cs
dc.contributor.author	Krátký, Stanislav	cs
dc.contributor.referee	Opletal, Petr	cs
dc.date.created	2010	cs
dc.description.abstract	Tato práce se zabývá procesem tvorby reliéfních periodických struktur pomocí elektronové litografie. Popisuje, jak navrhnout tyto struktury pomocí počítače a následně je vytvořit elektronovým litografem. Dále se zabývá metodami, kterými můžeme tyto struktury měřit a vyhodnocovat. Tyto metody jsou použity k měření a vyhodnocení binárních periodických mřížek a pomocí získaných dat je stanovena závislost hloubky mřížky na její periodě. Práce se dále zabývá měřením difrakční účinnosti na zhotovených mřížkách a srovnáním závislostí jejich difrakční účinností na hloubce mřížky.	cs
dc.description.abstract	This study examines the process of the relief periodic structures creation by way of electron beam lithography. It describes how to design these structures by means of a computer and subsequently how to create them by electron beam lithograph. Moreover, this study explores the methods by which these structures are measured and evaluated. These methods are used to measure and evaulate binary periodic gratings and thanks to obtained data it can be determined the dependence of the depth of grating on its period. The study also contains measurement of diffraction efficiency on manufactured gratings and comparison of the dependence of its diffraction efficiency on the depth of grating.	en
dc.description.mark	A	cs
dc.identifier.citation	KRÁTKÝ, S. Studium vlastností periodických mřížek vytvořených elektronovou litografii [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2010.	cs
dc.identifier.other	31806	cs
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11012/17918
dc.language.iso	cs	cs
dc.publisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
dc.rights	Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení	cs
dc.subject	Litografie	cs
dc.subject	elektronová litografie	cs
dc.subject	elektronový litograf	cs
dc.subject	binární mřížky	cs
dc.subject	kontaktní profilometrie	cs
dc.subject	mikroskopie atomárních sil.	cs
dc.subject	Lithography	en
dc.subject	electron-beam lithography	en
dc.subject	electron-beam lithograph	en
dc.subject	binary gratings	en
dc.subject	contact profilometry	en
dc.subject	atomic force microscopy.	en
dc.title	Studium vlastností periodických mřížek vytvořených elektronovou litografii	cs
dc.title.alternative	Properties study of periodic gratings prepared by electron-beam lithography	en
dc.type	Text	cs
dc.type.driver	bachelorThesis	en
dc.type.evskp	bakalářská práce	cs
dcterms.dateAccepted	2010-06-14	cs
dcterms.modified	2010-07-13-11:45:12	cs
eprints.affiliatedInstitution.faculty	Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
sync.item.dbid	31806	en
sync.item.dbtype	ZP	en
sync.item.insts	2025.03.16 13:15:03	en
sync.item.modts	2025.01.15 20:15:37	en
thesis.discipline	Mikroelektronika a technologie	cs
thesis.grantor	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky	cs
thesis.level	Bakalářský	cs
thesis.name	Bc.	cs