Analýza proudění plynu v diferenciálně čerpané komoře v závislosti na tvaru vstupní trysky
| but.committee | prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. (předseda) doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen) Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen) Ing. Roman Prokop, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky v diskuzi: Proč jste zvolil úhly kuželů 44,60 a 74°? Nebudou se v prostředí šířit rázové vlny? Popište složky rovnic zákona zachování hmoty? Jak je to s parciálními derivacemi vzorců? Co je to Machovo číslo? | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Maxa, Jiří | cs |
| dc.contributor.author | Hladký, David | cs |
| dc.contributor.referee | Vaculík, Sebastian | cs |
| dc.date.created | 2014 | cs |
| dc.description.abstract | U environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu je nutné oddělit komoru vzorku s tlakem aţ 2000 Pa od prostředí tubusu s tlakem 0.01 Pa diferenciálně čerpanou komorou. Tato diferenciálně čerpaná komora musí být konstruována tak, aby nejen dokázala dostatečně oddělit od sebe oblasti s velmi rozdílnými tlaky, ale také v dráze prolétávajících primárních elektronů musí být co nejniţší průměrná hodnota tlaku a hustoty, aby docházelo k co nejniţšímu rozptylu těchto elektronů vzniklým sráţkami elektronů s molekulami vzduchu. Byly vytvořeny osově symetrické 2D modely variant tvaru diferenciálně čerpané komory s různými úhly rozevření kuţele, které byly analyzovány s cílem vybrat optimální variantu. Pro analýzy byl pouţit systém Ansys Fluent vyuţívající metodu konečných objemů pro analýzu proudění tekutin | cs |
| dc.description.abstract | It is necessary to separate sample chamber with pressure up to 2000 Pa and the surroundings of tube with pressure 0.01 Pa with help of a differential pumped chamber at the environmental scanning electron microscope This differential pumped chamber is to be designed so that it has to manage to separate sections with very different pressures sufficiently and in the trajectory of transitting (overflying) prime electrons the average value of pressure and density has to be as low as possible, so that it would occure the lowest diffusion of these electrons, which is caused by collisions of electrons and air molecules too. It were created axisymmetric 2D models variant of Differentially pumped chamber with different opening angles of the clone, which were analyzed to choose the best variant. The Ansys Fluent systeme using finite volume method for analysis of fluid flow was used for analysis. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | HLADKÝ, D. Analýza proudění plynu v diferenciálně čerpané komoře v závislosti na tvaru vstupní trysky [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014. | cs |
| dc.identifier.other | 76730 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/34106 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Ansys | cs |
| dc.subject | Fluent | cs |
| dc.subject | Metoda konečných objemů | cs |
| dc.subject | Diferenciálně čerpaná komora | cs |
| dc.subject | EREM | cs |
| dc.subject | Ansys | en |
| dc.subject | Fluent | en |
| dc.subject | Finite element method | en |
| dc.subject | Differentially pumped chamber | en |
| dc.subject | ESEM | en |
| dc.title | Analýza proudění plynu v diferenciálně čerpané komoře v závislosti na tvaru vstupní trysky | cs |
| dc.title.alternative | Analysis of the gas flow in the passage of the primary electron beam differentially pumped chamber depending on the shape of the nozzle inlet | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2014-06-16 | cs |
| dcterms.modified | 2014-06-19-08:27:29 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| sync.item.dbid | 76730 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.16 13:30:48 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 21:25:30 | en |
| thesis.discipline | Mikroelektronika a technologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologie | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |