Vliv pracovních podmínek v environmentálním SEM na výsledky EDS
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Bakalářská práce obsahuje princip funkce environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (ESEM), problematiku detekce charakteristického rentgenového záření metodou energiově disperzní spektroskopie. Popisuje detekci rentgenového záření pomocí silicon drifted detektoru a také princip kvalitativní a kvantitativní rentgenové mikroanalýzy. Cílem této práce je studium vlivu pracovních podmínek v rastrovacím elektronovém mikroskopu VEGA3 XMU vybaveného Xflash 6 | 10 spektroskopem na výsledky rentgenové mikroanalýzy a jejich vyhodnocení.
The bachelor thesis contains an operating principle of the environmental scanning electron microscope (ESEM), issue of detection of characteristic X-Ray by using an energy dispersive spectroscopy method. The work describes detection of X-rays through silicon drifted detector, and also the principle of qualitative and quantitative X-ray microanalysis. The aim of this work is to study the influence of working conditions in the scanning electron microscope VEGA3 XMU equipped with Xflash 6 | 10 spectroscope on the results of X-ray microanalysis and their evaluations.
The bachelor thesis contains an operating principle of the environmental scanning electron microscope (ESEM), issue of detection of characteristic X-Ray by using an energy dispersive spectroscopy method. The work describes detection of X-rays through silicon drifted detector, and also the principle of qualitative and quantitative X-ray microanalysis. The aim of this work is to study the influence of working conditions in the scanning electron microscope VEGA3 XMU equipped with Xflash 6 | 10 spectroscope on the results of X-ray microanalysis and their evaluations.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop, environmentální rastrovací elektronový mikroskop, charakteristické rentgenové záření, silicon drifted detektor, energiově disperzní spektroskopie, prvková analýza., Scanning electron microscope, environmental scanning electron microscope, characteristic X-Ray, silicon drifted detector, energy dispersive spectroscopy, element analysis.
Citation
KAPLENKO, O. Vliv pracovních podmínek v environmentálním SEM na výsledky EDS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
Ing. Petr Dvořák, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Ladislav Chladil, Ph.D. (člen)
Ing. Bohuslav Res, CSc. (člen)
Ing. Jaromír Žák, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2016-06-15
Defence
Jak se mění rozptyl primárního svazku v komoře vzorku v závislosti na velikosti urychlovacího napětí?
Na jakém principu pracuje použitý simulační program?
Student seznámil zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení