Analysis of solid surfaces by LEIS with emphasis on quantification

Abstract

Tato práce se zabývá studiem procesů výměny náboje během nízkoenergiové iontové rozptylové spektrometrie (LEIS), extrémně povrchově citlivé analytické metody a využitím těchto procesů při kvantifikaci získaných dat. Je provedena podrobná studie procesů výměny náboje a navrhnut experiment pro přesné určení instrumentálního faktoru (klíčového elementu při kvantifikačním procesu). Následně je představen round-robin experiment, který testuje reprodukovatelnost daného měření. Dále jsou prezentovány a diskutovány výsledky navrhnutých měření, včetně určení instrumentálních faktorů pro přístroje Qtac100 (specializované LEIS instrumenty) v laboratořích napříč Evropou.This thesis focuses on the study of charge exchange processes in Low Energy Ion Scattering spectrometry (LEIS), an extremely surface sensitive analytical method, and their use in the process of quantification of acquired data. A thorough study of charge exchange processes is conducted, and an experiment for precise determination of the instrumental factor (a key element in the quantification process) is introduced. Subsequently, the round-robin experiment as a way to test the reproducibility of the presented experiment is settled. Furthermore, acquired results are presented and discussed, including the determination of the instrumental factor for Qtac100, dedicated LEIS instruments, in facilities around Europe.