Kalibrace koherenčního rastrovacího interferometru Talysurf CCI

Abstract

Tato diplomová práce se zabývá kalibrací koherenčního rastrovacího interferometru Talysurf CCI Lite. V práci byly rozebrány základní pojmy z oblasti hodnocení textury povrchu a také popsány parametry profilové a plošné metody hodnocení textury povrchu. Také byl popsán funkční princip a konstrukce použitého přístroje. Byly rozebrány existující postupy kalibrace dle výrobce vzhledem k definici pojmu kalibrace Mezinárodním metrologickém slovníkem. Dále byly představeny kalibrační kroky odpovídající pojmu kalibrace z hlediska stanovení nejistoty měření. V neposlední řadě byla stanovena nejistota měření plošných parametrů textury povrchu Sq a Sz. Popsané postupy a výsledky práce mohou přispět k rozšíření používání bezkontaktních optických přístrojů pro měření textury povrchu.This master’s thesis deals with calibration of a coherence scanning interferometer Talysurf CCI Lite. Basic terms related to surface texture evaluation were described along with selected profile and areal surface texture parameters. The working principle and design of the calibrated instrument were explained. Manufacturer’s calibration procedure was analyzed in relation to the definition of calibration in the International vocabulary of metrology. Further calibration steps leading to calculation of measurement uncertainty were presented. Last but not least, measurement uncertainties of areal surface texture parameters Sq and Sz were evaluated. The procedures and results described in this thesis may contribute to wider use of non-contact surface texture measuring instruments.