Studium plazmových produktů pomocí hmotnostní spektrometrie
| but.committee | prof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (předseda) prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jaromír Havlica, DrSc. (člen) prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen) doc. RNDr. Jaroslav Petrůj, CSc. (člen) prof. RNDr. Zdirad Žák, M.Sc., CSc. (člen) | cs |
| but.defence | Diplomant přednesl výsledky své diplomové práce velmi jasně, přesně a s řadou vynikajících výsledků. Na dotazy oponenta odpověděl jasně a správně. V následné diskuzi se členy komise prokázal výborné znalosti problematiky diplomové práce. | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Chemie a technologie materiálů | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Čech, Vladimír | cs |
| dc.contributor.author | Bureš, Michal | cs |
| dc.contributor.referee | Čáslavský, Josef | cs |
| dc.date.created | 2008 | cs |
| dc.description.abstract | Tenké vrstvy plazmových polymerů z tetravinylsilanu a směsi tetravinylsilanu s kyslíkem byly připravovány na křemíkových substrátech. Kyslík byl přidáván k tetravinylsilanu pro zlepšení kompatibility tenkých vrstev se skleněnými substráty. Hmotnostní spektrometrie byla využita během čištění depoziční komory ke kontrole zbytkových plynů a čistoty pracovních plynů a ke sledování neutrálních produktů a stability výboje během depozice. | cs |
| dc.description.abstract | Plasma polymer films of tetravinylsilane and mixture of tetravinylsilane and oxygen gas were deposited on silicon wafers. Oxygen gas was mixed in tetravinylsilane to improve the compatibility of thin films on glass substrates. Mass spectroscopy was employed during the cleaning of the deposition chamber to check residual gases and process gases, during plasma deposition to monitor neutral plasma species and to follow plasma stability. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | BUREŠ, M. Studium plazmových produktů pomocí hmotnostní spektrometrie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2008. | cs |
| dc.identifier.other | 2623 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/13608 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | hmotnostní spektrometrie | cs |
| dc.subject | plazmová polymerace | cs |
| dc.subject | plazma | cs |
| dc.subject | tenké vrstvy | cs |
| dc.subject | tetravinylsilan | cs |
| dc.subject | argon | cs |
| dc.subject | kyslík | cs |
| dc.subject | zbytkové plyny | cs |
| dc.subject | mass spectroscopy | en |
| dc.subject | plasma polymerization | en |
| dc.subject | plasma | en |
| dc.subject | thin films | en |
| dc.subject | tetravinylsilane | en |
| dc.subject | argon | en |
| dc.subject | oxygen | en |
| dc.subject | residual gases | en |
| dc.title | Studium plazmových produktů pomocí hmotnostní spektrometrie | cs |
| dc.title.alternative | Study of plasma species by mass spectroscopy | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2008-06-10 | cs |
| dcterms.modified | 2008-09-13-10:45:05 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta chemická | cs |
| sync.item.dbid | 2623 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 09:40:01 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 13:05:40 | en |
| thesis.discipline | Chemie materiálů | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav chemie materiálů | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |