Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM

but.committeeprof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (předseda) doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda) prof. Ing. Mária Režňáková, CSc. (člen) Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen) doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (člen)cs
but.defenceDiplomant seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky u obhajoby: Co tato práce přináší nového? Existují typické ideální hodnoty pro určité tlaky? V případě použití velkého průměru clonky, není problém s udržitelností vakua v detektoru?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorJirák, Josefcs
dc.contributor.authorRačanský, Davidcs
dc.contributor.refereeČudek, Pavelcs
dc.date.created2011cs
dc.description.abstractV první části této práce je uvedeno teoretické seznámení se základy rastrovací elektronové mikroskopie, pracující v oblastí vyšších tlaků, neboli VP SEM, včetně detekce sekundárních elektronů (SE) s využitím scintilačního detektoru. Praktická část je zaměřena na predikci, proměření a následném stanovení optimálního nastavení pracovních podmínek ve vakuovém systému elektrod scintilačního detektoru (SD), s důrazem na konfigurační nastavení průměrů otvorů v clonkách C1 a C2. Druhým úkolem bylo ověřit vliv změny pracovní vzdálenosti mezi vzorkem a detektorem a následně doporučit optimální nastavení pro další práci.cs
dc.description.abstractFirst part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of the variable pressure scanning electron microscope, includes detection of secondary electrons with a view to a scintillation detector. The first applied part of the thesis is focused on prediction, measuring and setting-up optional working parley in vacuum electrodes scintillation detector system, with a stress small diameter hole in screenings C1 and C2. Second applied part was verify a change of working distance between sample and detector in consequence to optional solution for another work.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationRAČANSKÝ, D. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.cs
dc.identifier.other41105cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/8165
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectRastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku v komoře vzorkucs
dc.subjectprimární elektrony (PE)cs
dc.subjectsekundární elektrony (SE)cs
dc.subjectzpětně odražené elektrony (BSE)cs
dc.subjectscintilační detektor SE pro VP SEMcs
dc.subjectEverhart-Thornley detektorcs
dc.subjectionizační detektor.cs
dc.subjectVarious pressure scanning electron microscope VP SEMen
dc.subjectprimary electron beam (PE)en
dc.subjectscintillation detector (SD)en
dc.subjectsecondary electrons (SE).en
dc.titleScintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEMcs
dc.title.alternativeScintillation SE detector for VP SEMen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2011-06-08cs
dcterms.modified2011-07-15-10:45:11cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid41105en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 11:29:46en
sync.item.modts2025.01.15 23:34:55en
thesis.disciplineElektrotechnická výroba a managementcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.41 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.pdf
Size:
51.32 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-1.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
appendix-2.pdf
Size:
411.08 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-2.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_41105.html
Size:
6.87 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_41105.html
Collections