Analýza vlivu umístění usměrňovače v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání

Abstract

Tato práce se zabývá oblastí komory diferenciálního čerpání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu, umístěním tlak omezujících clon a vlivem přepážky uvnitř komory. V teoretické části je nejprve popsána Mikroskopie jako věda, informace o mikroskopech (rozdělení mikroskopů) a elektronech. Poté se práce zabývá přímo environmentální rastrovací elektronovou mikroskopí a její problematikou a vakuovým systémem. Dále jsou rozebrány programy pro výpočet daných problémů a jejich princip, simulace, matematické modely a výpočtové oblasti, základní informace o srovnávací studii, ze které práce vychází. V experimentální části jsou uvedeny cíle práce a kapitola věnující se zpracování výsledků, které jsou srovnávány s výchozí studií za použití programu Ansys Fluent.This thesis deals with the area of the differential pumping chamber of an environmental scanning electron microscope, engaging the pressure limiting apertures and the influence of the enclosure inside the chamber. In the theoretical part, it is first called Microscopy as science, information about microscopes (division of microscopes) and electrons. Afterwards, the theory deals directly with environmental scanning electron microscopy and its problems and vacuum system, mathematical models and computational areas, basic information about the comparative study from, which the thesis is based. In the experimental part there are presented the objectives of the work and the chapter dealing with the processing of results, which are compared with the initial study using the program Ansys Fluent.