Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop

but.committeeprof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda) Ing. Pavel Prosr, Ph.D. (místopředseda) doc. RNDr. Andrea Straková Fedorková, Ph.D. (člen) Ing. Ondřej Čech, Ph.D. (člen) Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky v diskuzi: Na jakém principu pracuje scintilační detektor? Z jakého materiálu je vyroben scintilační detektor?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorJirák, Josefcs
dc.contributor.authorOdehnal, Adamcs
dc.contributor.refereeČudek, Pavelcs
dc.date.created2014cs
dc.description.abstractPráce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce.cs
dc.description.abstractThis work contains theory about scanning electron microscopy. It describes construction, principle of operation and sinals generated by interactions between primary electron beam and specimen. Furthermore, it describes the most common method for detection of secondary electrons using scintillation detector. Next chapters are dealing with last development stage of scanning electron microscopy, which is environmental scanning electron microscopy. Experimental part is evaluating dependency of size of detected signal with scintillation detector on pressure of water vapor in specimen chamber. It also considers appropriate size of voltages enclosed on electrodes of the scintillation detector to optimize detection.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationODEHNAL, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.cs
dc.identifier.other74377cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/34156
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectRastrovací elektronový mikroskop (REM)cs
dc.subjectprimární elektrony (PE)cs
dc.subjectsekundární elektrony (SE)cs
dc.subjectzpětně odražené elektrony (BSE)cs
dc.subjectscintilační detektor (SD)cs
dc.subjectenvironmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM).cs
dc.subjectScanning electron microscope (SEM)en
dc.subjectprimary electrons (PE)en
dc.subjectsecondary electron (SE)en
dc.subjectbackscattered electrons (BSE)en
dc.subjectscintillation detector (SD)en
dc.subjectenvironmental scanning electron microscope (ESEM).en
dc.titleScintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskopcs
dc.title.alternativeScintillation SE detector fo environmental scanning electron microscopeen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2014-06-16cs
dcterms.modified2014-06-19-08:27:32cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid74377en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.16 13:30:57en
sync.item.modts2025.01.16 00:35:17en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.23 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_74377.html
Size:
4.16 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_74377.html
Collections