Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
but.committee | prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda) Ing. Pavel Prosr, Ph.D. (místopředseda) doc. RNDr. Andrea Straková Fedorková, Ph.D. (člen) Ing. Ondřej Čech, Ph.D. (člen) Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (člen) | cs |
but.defence | Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky v diskuzi: Na jakém principu pracuje scintilační detektor? Z jakého materiálu je vyroben scintilační detektor? | cs |
but.jazyk | čeština (Czech) | |
but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Jirák, Josef | cs |
dc.contributor.author | Odehnal, Adam | cs |
dc.contributor.referee | Čudek, Pavel | cs |
dc.date.created | 2014 | cs |
dc.description.abstract | Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce. | cs |
dc.description.abstract | This work contains theory about scanning electron microscopy. It describes construction, principle of operation and sinals generated by interactions between primary electron beam and specimen. Furthermore, it describes the most common method for detection of secondary electrons using scintillation detector. Next chapters are dealing with last development stage of scanning electron microscopy, which is environmental scanning electron microscopy. Experimental part is evaluating dependency of size of detected signal with scintillation detector on pressure of water vapor in specimen chamber. It also considers appropriate size of voltages enclosed on electrodes of the scintillation detector to optimize detection. | en |
dc.description.mark | B | cs |
dc.identifier.citation | ODEHNAL, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014. | cs |
dc.identifier.other | 74377 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/34156 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | Rastrovací elektronový mikroskop (REM) | cs |
dc.subject | primární elektrony (PE) | cs |
dc.subject | sekundární elektrony (SE) | cs |
dc.subject | zpětně odražené elektrony (BSE) | cs |
dc.subject | scintilační detektor (SD) | cs |
dc.subject | environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM). | cs |
dc.subject | Scanning electron microscope (SEM) | en |
dc.subject | primary electrons (PE) | en |
dc.subject | secondary electron (SE) | en |
dc.subject | backscattered electrons (BSE) | en |
dc.subject | scintillation detector (SD) | en |
dc.subject | environmental scanning electron microscope (ESEM). | en |
dc.title | Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop | cs |
dc.title.alternative | Scintillation SE detector fo environmental scanning electron microscope | en |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | bachelorThesis | en |
dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2014-06-16 | cs |
dcterms.modified | 2014-06-19-08:27:32 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
sync.item.dbid | 74377 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2025.03.16 13:30:57 | en |
sync.item.modts | 2025.01.16 00:35:17 | en |
thesis.discipline | Mikroelektronika a technologie | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologie | cs |
thesis.level | Bakalářský | cs |
thesis.name | Bc. | cs |