Příprava 2D materiálů v ultravakuovém elektronovém mikroskopu

Abstract

Tato práce je věnována přípravě vícevrstvého grafenu a h-BN pomocí metody CVD. V teoretické části této práce jsou představeny oba materiály, metoda CVD a SEM. V experimentální části je popsána aparatura a příprava vzorků, dále programy, které v rámci této práce vznikly, sloužící k analýze pořízených snímků, a provedené experimenty. Pro růst vícevrstvého grefenu byla pomocí in-situ analýzy v UHV-SEM hledána odpověď na otázku, jakým způsoben zrna vícevrstvého grafenu vznikají. Byly také provedeny první experimenty přípravy h-BN.This thesis is devoted to preparation of multilayer graphene and h-BN by CVD method. In the theoretical part of this thesis, both materials are introduced, as well as the CVD method and SEM. In the experimental part, the equipment and samples are described, as well as the computer codes, that were made within this work and used for analysis of taken images, and experiments, that were carried out. Utilizing in-situ analysis in ultra-high vacuum scanning electron microscope, the goal was to answer a question how is the multilayer graphene formed on the surface. Also, the first experiments of preparation of h-BN in this aparature were carried out.