Modernizace UHV manipulátoru pro metody SIMS a LEIS

Abstract

Tato bakalářská práce pojednává o konstrukci manipulátoru pracujícího v podmínkách ultravysokého vakua. První část práce je věnována původnímu návrhu manipulátoru se šesti stupni volnosti, jeho provedení a realizaci. Druhá část se zabývá úpravami manipulátoru. Diskutovány jsou výhody a nevýhody konstrukčních řešení a na základě provozu jsou navrženy úpravy manipulátoru a příslušenství. Hlavní pozornost je věnována návrhu řešení rotace vzorku pomocí krokového motorku pracujícího přímo v ultravysokém vakuu. V rámci úprav je také navržena a testována nová Faradayova sonda pro použití na manipulátoru. V poslední části je s využitím manipulátoru provedena strukturní analýza metodou LEIS ověřující funkčnost a spolehlivost komponent manipulátoru.This bachelor’s thesis deals with the design and the construction of the manipulator, which operates under ultra high vacuum. In the first section, the original design and realization of the manipulator with six motion axis is introduced. Second section deals with the modifications of the manipulator. Advantages and disadvantages of the design are discussed and a new design of the manipulator, based on the experience from manipulator operation, is projected. Section is mainly focused on the design of the sample rotation using a stepper motor working in the ultra high vacuum. The new Faraday cup was also designed and tested. The last section contains the LEIS structural analysis measurement using the manipulator.