Možnosti přípravy nanoelektronických zařízení na grafenu pomocí AFM

Abstract

V tejto diplomovej práci sme sa zamerali na štúdiu a prípravu nano-štruktúr na graféne pomocou lokálnej anodickej oxidácie. Naša pozornosť bola venovaná izolačným schopnostiam oxidovaného grafénu, ktorý bol študovaný pomocou mapovania povrchového napätia, využívaním sondovej mikroskopie Kelvinovej sily, a súčasným meraním toku nosičov nábojov. Získané výsledky poukazujú na zdvojnásobnenie odporu pri čiarovom oxidovom prerušení. Ku koncu, nano-zúženie s mikrometrovými rozmermi bolo vyrobené a študované pod rôznymi vlhkosťami, v rozmedzí 3% až 60%.In this master’s thesis, we focused on the study and preparation of nano-structures on graphene by local anodic oxidation. Our attention was put on the isolating capabilities of oxidized graphene, which was studied by surface electric potential mapping, using Kelvin probe force microscopy, with simultaneous transport measurement. The obtained results indicate the doubling of resistance by line interruption oxidation. Finally, nanoconstriction of micrometer dimensions was fabricated and studied under different relative humidities, in the range of 3% to 60%.