Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku

Abstract

Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.

This work contains description of basic properties and principles of electron microscopy focused on scanning electron microscopy. It describes construction solutions of a microscope, interaction between electron beam and sample, generation of backscattered and secondary electrons. Next chapters are dealing with development of electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. The experimental part of this thesis is focuses on the detection of secondary electrons with scintillation detector in environmental scanning electron microscope at higher pressure in the specimen chamber. Concretely is focused on optimization of collecting grid voltage and measurement of pressure dependences.