Pokročilé techniky mikroobrábění

Simple item page
but.committeedoc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (předseda) doc. Ing. Radek Kuchta, Ph.D. (místopředseda) Ing. Milan Šesták (člen) doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Špinka (člen)cs
but.defenceStudent seznámil státní zkušební komisi s cílem a řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále student zodpověděl následující otázky: Deformace membrány? Student otázku zodpověděl. Podleptání se nedá zabránít? Student otázku zodpověděl, že díky izotropním leptadlům ne. Jaká je reprodukovatelnost mikromůstku? Student otázku zodpověděl, že se liší reprodukovatelnost v rámci waferu (umístění). Rozměry waferu? 10 cm průměr. Dala by se udělat statistika zmetkovitosti/výtěžnosti? Student otázku zodpověděl. Nezkoušel statistické vyhodnocení? Student otázku zodpověděl, že nedělal statistické vyhodnocení.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorPekárek, Jancs
dc.contributor.authorŠalomoun, Vojtěchcs
dc.contributor.refereePrášek, Jancs
dc.date.created2014cs
dc.description.abstractVýroba mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS) vyžaduje pokročilý stupeň miniaturizace, kterého nelze dosáhnout klasickými mikroelektronickými technologiemi. Tzv. mikroobrábění zahrnuje celou řadu specifických technik, kterými lze zpracovat materiál, nejčastěji křemík, do podoby mikrostruktury, jejíž rozměry mohou klesat až pod 1 m. V úvodu této bakalářské práce je nastíněn obecný úvod do problematiky mikroobráběcích technologií a MEMS. Pozornost je věnována objemovému a povrchovému mikroobrábění prostřednictvím mokrého a suchého leptání. Na základě uvedených skutečností jsou dále navrženy typické mikrostruktury a jejich výrobní postup. Jejich mechanické chování je modelováno prostřednictvím počítačového prostředí CoventorWare 2012.cs
dc.description.abstractFabrication of micro-electro-mechanical systems (MEMS) requires advanced level of miniaturization, which is not achievable by technology used in microeletronics. Socalled micromachining covers many unique techniques of material processing to get microstructures with possible dimensions below 1 m. This bachelor’s thesis gives a general introduce to micromachining of MEMS. Its focus is on bulk and surface micromachining by wet and dry etching. The practical part contains design of microstructures, their manufacturing process and creation of computer models in CoventorWare suite.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationŠALOMOUN, V. Pokročilé techniky mikroobrábění [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.cs
dc.identifier.other74212cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/34462
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectmikroobráběnícs
dc.subjectobjemovécs
dc.subjectpovrchovécs
dc.subjectkřemíkcs
dc.subjectXeF2cs
dc.subjectBOEcs
dc.subjectleptánícs
dc.subjectmikroelektromechanické systémycs
dc.subjectMEMScs
dc.subjectmikronosníkcs
dc.subjectmikromůstekcs
dc.subjectmikromembránacs
dc.subjectmicromachiningen
dc.subjectbulken
dc.subjectsurfaceen
dc.subjectsiliconen
dc.subjectXeF2en
dc.subjectBOE etchingen
dc.subjectmicroelectromechanical systemsen
dc.subjectMEMSen
dc.subjectmicrocantileveren
dc.subjectmicrobridgeen
dc.subjectmicromembraneen
dc.titlePokročilé techniky mikroobráběnícs
dc.title.alternativeAdvanced techniques of micromachiningen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2014-06-17cs
dcterms.modified2014-06-19-08:27:33cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid74212en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.16 13:32:01en
sync.item.modts2025.01.15 17:11:18en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.29 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_74212.html
Size:
6.9 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_74212.html
Download
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download
Collections
2014