Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering

Simple item page
dc.contributor.authorStach, Sebastiancs
dc.contributor.authorSobola, Dinaracs
dc.contributor.authorTalu, Stefancs
dc.contributor.authorKaspar, Pavelcs
dc.contributor.authorTománek, Pavelcs
dc.contributor.authorGiovanzana, Stefanocs
dc.contributor.authorGrmela, Lubomírcs
dc.coverage.issue1cs
dc.coverage.volume33cs
dc.date.accessioned2021-10-01T10:53:38Z
dc.date.available2021-10-01T10:53:38Z
dc.date.issued2015-01-01cs
dc.description.abstractThe aim of this study is to characterize the surface topography of aluminum nitride (AlN) epilayers prepared by magnetron sputtering using the surface statistical parameters, according to ISO 25178-2:2012. To understand the effect of temperature on the epilayer structure, the surface topography was investigated through atomic force microscopy (AFM). AFM data and analysis of surface statistical parameters indicated the dependence of morphology of the epilayers on their growth conditions. The surface statistical parameters provide important information about surface texture and are useful for manufacturers in developing AlN thin films with improved surface characteristics. These results are also important for understanding the nanoscale phenomena at the contacts between rough surfaces, such as the area of contact, the interfacial separation, and the adhesive and frictional properties.en
dc.description.abstractCílem této studie je charakterizovat topografii povrchu AlN epivrstev připravených pomocí magnetronového napařování. K tomu využíváme statistické parametry povrchu dle normy ISO 25178-2:2012. Abychom pochopili vliv teploty, byla topografie povrchu provedena pomocí AFM mikroskopu. Data z AFM mikroskopu a analýza statistických parametrů povrchu ukazují závislost morfologie epivrstev na podmínkách jejich růstu. Statistické parametry poskytují důležité informace o textuře povrchu a jsou významné pro výrobu tenkých vrstev AlN se zlepšenými charakteristikami povrchu. Tyto výsledky jsou také důležité pro pochopení jevů v nanoměřítku v kontaktních bodech drsných povrchů - oblasti kontaktu, separace rozhraní a o adhesivních a frikčních vlastnostech.cs
dc.formattextcs
dc.format.extent175-184cs
dc.format.mimetypeapplication/pdfcs
dc.identifier.citationMATERIALS SCIENCE-POLAND. 2015, vol. 33, issue 1, p. 175-184.en
dc.identifier.doi10.1515/msp-2015-0036cs
dc.identifier.issn0137-1339cs
dc.identifier.other113282cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/201713
dc.language.isoencs
dc.publisherDe Gruyter Opencs
dc.relation.ispartofMATERIALS SCIENCE-POLANDcs
dc.relation.urihttps://www.sciendo.com/article/10.1515/msp-2015-0036cs
dc.rightsCreative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internationalcs
dc.rights.accessopenAccesscs
dc.rights.sherpahttp://www.sherpa.ac.uk/romeo/issn/0137-1339/cs
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/cs
dc.subjectaluminum nitride epilayeren
dc.subjectatomic force microscopyen
dc.subjectmagnetron sputteringen
dc.subjectsubstrateen
dc.subjectsurface roughnessen
dc.subjectAlN epivrstva
dc.subjectAFM
dc.subjectmagnetronové napařování
dc.subjectsubstrát
dc.subjectdrsnost povrchu
dc.titleMorphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputteringen
dc.title.alternativeMorfologické detaily v AlN epivrstvách připravených magnetronovým napařovánímcs
dc.type.driverarticleen
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.type.versionpublishedVersionen
sync.item.dbidVAV-113282en
sync.item.dbtypeVAVen
sync.item.insts2021.10.01 12:53:38en
sync.item.modts2021.10.01 12:15:23en
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. oddělení-FYZ-SIXcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav fyzikycs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
10.1515_msp20150036.pdf
Size:
3.83 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
10.1515_msp20150036.pdf
Download
Collections
oddělení-FYZ-SIX
Ústav fyziky