Tomografická analýza polovodičových struktur metodou FIB-SIMS

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Energie primárních iontů Bi na vzorku. Student otázky zodpověděl.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petrcs
dc.contributor.authorMičulka, Martincs
dc.contributor.refereeVoborný, Stanislavcs
dc.date.created2020cs
dc.description.abstractPráce se zabývá tomografickou analýzou struktury prokovů pomocí metody FIB-SIMS pro elektrotechnický průmysl. Pomocí fokusovaného iontového svazku dochází v řezech k odprašování materiálu ze vzorku, což umožňuje odhalit vnitřní struktury k povrchovému zkoumání pomocí TOF-SIMS. Vzniká takto sekvence 2D snímků z jednotlivých řezů vzorkem, která je použita k tomografické rekonstrukci struktury prokovu. Je pojednáváno o optimalizaci metody FIB-SIMS aplikováním kyslíkového iontového svazku pro zvýšení iontového výtěžku a redukci artefaktů. Práce taky pojednává o pozorované nestabilitě emisního proudu bismutových iontů ze zdroje LMIS.cs
dc.description.abstractThis thesis deals with a tomographic analysis of the structure of through-silicon via utilizing TOF-SIMS; a method used in electrotechnical industry. A focused ion beam isused to create a cross section of a semiconductor to reveal its inner structure. Afterwards a newly created surface is analysed by TOF-SIMS to determine its chemical composition. A series of 2D images is created which are used for tomographic reconstruction of the through-silicon via. Moreover, the thesis deals with an optimization of FIB-SIMS method by employing oxygen ion beam for improvement of ionized sputter yield and for artifacts reduction. A measurement of instability of bismuth ion beam is demonstrated as well.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationMIČULKA, M. Tomografická analýza polovodičových struktur metodou FIB-SIMS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020.cs
dc.identifier.other125375cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/192261
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectFIB-SIMS tomografiecs
dc.subjectSIMScs
dc.subjectFIBcs
dc.subjecttomografiecs
dc.subjectthrough-silicon viacs
dc.subjectTSVcs
dc.subjectLMIScs
dc.subjectLMIGcs
dc.subjectFIB-SIMS tomographyen
dc.subjectSIMSen
dc.subjectFIBen
dc.subjecttomographyen
dc.subjectthrough-silicon viaen
dc.subjectTSVen
dc.subjectLMISen
dc.subjectLMIGen
dc.titleTomografická analýza polovodičových struktur metodou FIB-SIMScs
dc.title.alternativeTomographical analysis of semiconductor devices by FIB-SIMSen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2020-07-16cs
dcterms.modified2020-07-30-06:55:48cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid125375en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 08:03:34en
sync.item.modts2025.01.15 21:15:05en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
8.71 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.au3
Size:
15.1 KB
Format:
Unknown data format
Description:
appendix-1.au3
Download
Thumbnail Image
Name:
review_125375.html
Size:
10.18 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_125375.html
Download
Collections
2020