Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Bábor, Petr | cs |
| dc.contributor.author | Gretz, Leoš | cs |
| dc.contributor.referee | Lysáček, David | cs |
| dc.date.created | 2010 | cs |
| dc.description.abstract | Cílem práce je analyzovat chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách (tvořených vrstvami polykrystalického křemíku oddělených vrstvami oxidu křemíku) a porovnat ho s getračním chováním ve vrstvách tvořených pouze polykrystalickým křemíkem. | cs |
| dc.description.abstract | This thesis is devoted to the behavior of heavy metals in gettering multilayers made of polysilicon and silicon oxide. | en |
| dc.description.mark | E | cs |
| dc.identifier.citation | GRETZ, L. Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010. | cs |
| dc.identifier.other | 26424 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/23047 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Si deska | cs |
| dc.subject | kontaminace | cs |
| dc.subject | SIMS | cs |
| dc.subject | hloubkové profilování | cs |
| dc.subject | Si wafer | en |
| dc.subject | contamination | en |
| dc.subject | SIMS | en |
| dc.subject | depth profiling | en |
| dc.title | Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách | cs |
| dc.title.alternative | Study on the behavior of heavy metals in gettering multilayers | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2010-06-16 | cs |
| dcterms.modified | 2010-08-31-10:45:30 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 26424 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.27 06:49:52 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 17:58:25 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |