but.committee	prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) doc. Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (člen) doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Vanýsek, CSc. (člen) prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. - oponent (člen) doc. Ing. Antonín Rek, CSc. - oponent (člen) doc. RNDr. Marie Studničková, CSc. (člen) doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (člen) Ing. Bohuslav Res, CSc. (člen) prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (člen)	cs
but.defence		cs
but.jazyk	čeština (Czech)
but.program	Elektrotechnika a komunikační technologie	cs
but.result	práce byla úspěšně obhájena	cs
dc.contributor.advisor	Jirák, Josef	cs
dc.contributor.author	Čudek, Pavel	cs
dc.contributor.referee	Kadlec, Jaromír	cs
dc.contributor.referee	Rek, Antonín	cs
dc.date.accessioned	2019-04-03T22:59:21Z
dc.date.available	2019-04-03T22:59:21Z
dc.date.created	2016	cs
dc.description.abstract	Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu.	cs
dc.description.abstract	The thesis deals with the scintillation secondary electron detector for environmental scanning electron microscope, its design and construction. The starting point was numerical simulation of electrostatic fields and electron trajectories in the electrode system of the detector and simulation of pressure distribution and flow of gases in different parts of the detector. On the basis of modeling and simulation, construction changes of the detector were gradually implemented. Detection efficiency of each version of the detector was determined by the method described in the work. This method enables to evaluate signal level from the captured images of the specimen, quality of images was stated from signal to noise ratio. The thesis describes the whole process of the detector improvement from initial state, when the detector operated with lower efficiency in the pressure range from 300 to 900 Pa, to final version that enables usage of the detector in the range from vacuum up to 1000 Pa of water vapors in the specimen chamber of the microscope.	en
dc.description.mark	P	cs
dc.identifier.citation	ČUDEK, P. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.	cs
dc.identifier.other	87395	cs
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11012/51956
dc.language.iso	cs	cs
dc.publisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
dc.rights	Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení	cs
dc.subject	Rastrovací elektronový mikroskop	cs
dc.subject	environmentální rastrovací elektronový mikroskop	cs
dc.subject	scintilační detektor sekundárních elektronů	cs
dc.subject	primární elektrony	cs
dc.subject	sekundární elektrony	cs
dc.subject	zpětně odražené elektrony	cs
dc.subject	detekce sekundárních elektronů	cs
dc.subject	úroveň detekovaného signálu	cs
dc.subject	poměr signál – šum.	cs
dc.subject	Scanning electron microscope	en
dc.subject	environmental scanning electron microscope	en
dc.subject	scintillation secondary electron detector	en
dc.subject	primary electrons	en
dc.subject	secondary electrons	en
dc.subject	backscattered electrons	en
dc.subject	detection of secondary electrons	en
dc.subject	detected signal level	en
dc.subject	signal noise ratio.	en
dc.title	Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM	cs
dc.title.alternative	Scintillation Secondary Electrons Detector for ESEM	en
dc.type	Text	cs
dc.type.driver	doctoralThesis	en
dc.type.evskp	dizertační práce	cs
dcterms.dateAccepted	2016-05-24	cs
dcterms.modified	2016-05-26-12:19:24	cs
eprints.affiliatedInstitution.faculty	Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
sync.item.dbid	87395	en
sync.item.dbtype	ZP	en
sync.item.insts	2021.11.23 00:17:57	en
sync.item.modts	2021.11.22 23:25:46	en
thesis.discipline	Mikroelektronika a technologie	cs
thesis.grantor	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologie	cs
thesis.level	Doktorský	cs
thesis.name	Ph.D.	cs

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM

Files

Original bundle

Collections