Progresivní slitiny amorfního uhlíku připravené v nízkoteplotním plazmatu

but.committeedoc. Ing. František Šoukal, Ph.D. (předseda) Mgr. Aleš Marek, Ph.D. (člen) Mgr. Jan Mistrík, Ph.D. (člen) doc. RNDr. Václav Nehasil, Dr. (člen) prof. RNDr. David Trunec, CSc., oponent (člen) doc. RNDr. Ondřej Kylián, Ph.D., oponent (člen) Ing. Jiří Stuchlík, CSc. (člen)cs
but.defence Z důvodu nouzového stavu proběhla obhajoba Ing. Martina Bráneckého kombinovaným způsobem - fakultní zaměstnanci, tj. předseda komise a školitel (který není členem komise) byli přítomi při obhajobě prezenčně, také doktorand byl přítomen prezenčně. Mimofakultní členové komise byli připojeni formou videokonference. Průběh obhajoby byl nahráván. Předseda komise představil doktoranda. Ing. Bránecký absolvoval odbornou stáž na univerzitě v Michiganu, USA. Má rovněž poměrně bohatou publikační činnost. Ve své powerpoitové prezentaci představil podstatné výsledky své disertační práce. Disertační práce Ing. Martina Bráneckého se zabývá depozicemi tenkých vrstev metodou PECVD. Lze konstatovat, že doktorand splnil zadaný cíl disertační práce a získal řadu kvalitních výsledků. Oponenti položili řadu dotazů, doktorand na všechny uspokojivým způsobem odpověděl. Dotazy, které byly položeny online formou do chatu: Bylo pozorováno v in-situ elipsometrickém měření a měření hmotových spekter zanášení diagnostik depozitem v průběhu depozičních procesů? Byly na toto provedeny korekce? Komentář1: Z funkční závislosti náběhu absorpční hrany u vrstev TVS by pravděpodobně bylo možné posoudit vnitřní strukturu respektive míru zasíťování polymeru. K tomu je nutné opustit Tauc-Lorentzovu parametrizaci. Nafitovat optické konstanty bod po bodu a vyhodnotit průběh absorpce pomocí Taucova plotu. Tento postup se uplatňuje při posuzování změny vnitřního uspořádání amorfních polovodičů (viz práce prof. Shimakawa). Komentář2: V budoucnu doporučuji (bude-li to možné) kombinovat elipsometrickou spektroskopii ve viditelném oboru s ellipsometrií v IČ oboru. Tím by odpadla nutnost přepočtu spekter absorbance na nominální hodnotu a získání přesnějších výsledků. Zároveň by se zvýšila efektivita elipsometrie při analýze multivrstev. Dotaz: Můžete posoudit Vámi dosažené výsledky vzhledem k cíleným aplikacím? Zvláště pak mi jde o posouzení vlivu oxidace deponovaných nanostruktur na jejich požadované funkční vlastnosti.cs
but.jazykslovenština (Slovak)
but.programChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorČech, Vladimírsk
dc.contributor.authorBránecký, Martinsk
dc.contributor.refereeTrunec, Davidsk
dc.contributor.refereeKylián,, Ondřejsk
dc.date.accessioned2020-10-30T07:55:56Z
dc.date.available2020-10-30T07:55:56Z
dc.date.created2020cs
dc.description.abstractTechnológia atómovej/plazmovej polymerizácie patrí medzi veľmi využívané v rôznych technických oblastiach. Táto práca je zameraná na využitie technológie PE-CVD v oblasti tvorby medzifázových a adhéznych vrstiev, ktoré sú rozvinuté do vrstevnatých nanoštruktúr. Pre zaistenie reprodukovateľných chemických a fyzikálnych vlastností materiálov bol proces tvorby vrstiev kontrolovaný pomocou hmotnostnej spektrometrie. Čisté pary tetravinylsilanu, prípadne zmes týchto par s kyslíkom boli použité ako prekurzor pre atomárnu polymerizáciu, ktorej výsledkom sú vrstvy s veľkou variabilitou vlastností. Fyzikálne a chemické vlastnosti boli variované pomocou zmeny efektívneho výkonu dodaného do výboja plazmy. Výsledné vrstvy boli analyzované z rôznych hľadísk pomocou viacerých metód (in situ spektroskopická elipsometria, FTIR, nanoindentácia, AFM). Odstránenie vodíka z uhlík-kremíkovej siete má za následok zvýšené zasieťovanie materiálu, ktoré riadi mechanické aj optické vlastnosti deponovaných vrstiev. Z presne definovaných a-CSi:H a a-CSiO:H materiálov sú následne skonštruované vrstevnaté nanoštruktúry zložené z 3 a 7 jednotlivých vrstiev. Tieto boli analyzované pomocou XPS a RBS pre stanovenie atómovej koncentrácie uhlíka, kremíka, kyslíka a ich väzobných druhoch.sk
dc.description.abstractAtomic/plasma polymerization technology is widely used in various technical fields. This work is focused to use the PE-CVD technology in the field of formation of interphase and adhesive layers, which are developed into layered nanostructures. To ensure reproducible chemical and physical properties of the materials, the deposition process was monitored by mass spectrometry. Vapours of the pure tetravinylsilane, or a mixture of these vapours with oxygen, was used as a precursor for atomic polymerization, which results in the thin films with a large variability of properties. Physical and chemical properties were varied by the effective power delivered to the plasma discharge. The deposited films were analyzed from different perspectives using several methods (in situ spectroscopic ellipsometry, FTIR, nanoindentation, AFM). The removal of hydrogen atoms from the carbon-silicon network results in increased crosslinking of the material, which controls the mechanical and optical properties of the deposited layers. From the precisely defined a-CSi:H and a-CSiO:H materials, layered nanostructures composed of 3 and 7 individual layers was subsequently constructed. These nanostructures were analyzed by XPS and RBS to determine the atomic concentrations of carbon, silicon, oxygen and their binding states.en
dc.description.markPcs
dc.identifier.citationBRÁNECKÝ, M. Progresivní slitiny amorfního uhlíku připravené v nízkoteplotním plazmatu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2020.cs
dc.identifier.other128335cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/195576
dc.language.isoskcs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemickács
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectTenké vrstvysk
dc.subjectvrstevnaté nanoštruktúrysk
dc.subjectPE-CVDsk
dc.subjecttetravinylsilan (TVS)sk
dc.subjecta-CSi:Hsk
dc.subjecta-CSiO:H.sk
dc.subjectThin filmsen
dc.subjectlayered nanostructuresen
dc.subjectPE-CVDen
dc.subjecttetravinylsilan (TVS)en
dc.subjecta-CSi:Hen
dc.subjecta-CSiO:H.en
dc.titleProgresivní slitiny amorfního uhlíku připravené v nízkoteplotním plazmatusk
dc.title.alternativeProgressive Amorphous Carbon Alloys Synthesized in Low-Temperature Plasmaen
dc.typeTextcs
dc.type.driverdoctoralThesisen
dc.type.evskpdizertační prácecs
dcterms.dateAccepted2020-10-29cs
dcterms.modified2020-10-29-15:56:30cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta chemickács
sync.item.dbid128335en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.22 23:17:41en
sync.item.modts2021.11.22 22:31:26en
thesis.disciplineChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav chemie materiálůcs
thesis.levelDoktorskýcs
thesis.namePh.D.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 5 of 5
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
4.44 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
thesis-1.pdf
Size:
1.11 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
thesis-1.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Posudek-Vedouci prace-Stanovisko skolitele.pdf
Size:
134 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek-Vedouci prace-Stanovisko skolitele.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Posudek-Oponent prace-Kylian_Branecky.pdf
Size:
697.76 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek-Oponent prace-Kylian_Branecky.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_128335.html
Size:
8.47 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_128335.html
Collections