Návrh iontového zdroje pro odprašování

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorKolíbal, Miroslavcs
dc.contributor.authorGlajc, Petrcs
dc.contributor.refereeVoborný, Stanislavcs
dc.date.created2012cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje. Jejím cílem je navrhnout iontový zdroj se sedlovým polem pro odprašování. Inovací ve vypracovaném návrhu je kombinace klasického válcově symetrického iontového zdroje a žhavené katody vyrobené z wolframu. V první části práce je uvedena rešerše problematiky iontových zdrojů. Druhá část se zabývá elektronově-optickým návrhem zdroje a simulací elektrostatického pole včetně trajektorií elektronů a iontů. Jsou také odhadnuty některé parametry iontového zdroje. V třetí části je detailně popsán konstrukční návrh založený na předchozích simulacích. Součástí práce je kompletní výkresová dokumentace.cs
dc.description.abstractThis bachelor's thesis deals with the development of a new type of an ion source. The aim is to design a saddle-field ion source for sputtering. The unique property of the design is that it combines classical cylindrical-symmetry saddle-field ion source with a hot cathode made of tungsten. In the first part of the thesis an overview of the published research in the field of ion sources is presented. The second part deals with an electrostatic-optical design of the source and with simulations of the electrostatic field including trajectories of electrons and ions. Also a crude estimation of the source parameters is made. In the third part the construction design based on previous simulations is described.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationGLAJC, P. Návrh iontového zdroje pro odprašování [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2012.cs
dc.identifier.other49795cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/8429
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectiontový zdrojcs
dc.subjectsedlové polecs
dc.subjectžhavená katodacs
dc.subjectodprašovánícs
dc.subjectEODcs
dc.subjectkonstrukcecs
dc.subjection sourceen
dc.subjectsaddle fielden
dc.subjecthot cathodeen
dc.subjectsputteringen
dc.subjectEODen
dc.subjectconstructionen
dc.titleNávrh iontového zdroje pro odprašovánícs
dc.title.alternativeDesign of an ion source for sputteringen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2012-06-19cs
dcterms.modified2012-06-20-13:46:54cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid49795en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 00:26:40en
sync.item.modts2025.01.15 23:52:10en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.18 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
2.28 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_49795.html
Size:
9.11 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_49795.html
Download
Collections
2012