Měření lokální elektrické vodivosti v poklepovém režimu AFM

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na vývoj sondy pro měření lokální elektrické vodivosti v poklepovém režimu mikroskopie atomárních sil. Teoretická část práce podává stručný přehled rastrovací sondové mikroskopie a jejích mnohých měřicích technik, především pak vodivostní mikroskopie atomárních sil. Tato část také popisuje měřicí režim, v němž navržená sonda pracuje. Na závěr je zde představena křemenná ladička tvořící základ sondy. Praktická část sleduje postupný vývoj sondy jako takové a zahrnuje kapitolu věnovanou výrobě velmi ostrých vodivých hrotů potřebných pro elektrická měření. Závěr praktické části je věnován výrobě testovacích vzorků, na kterých byla prokázána funkčnost sondy, a samotnému měření lokální elektrické vodivosti.This bachelor thesis is concerned about the development of a probe for local electrical conductivity measurements in tapping mode Atomic Force Microscopy. The teoretical part gives a short overview of Scanning Probe Microscopy techniques, with the focus being on Conductivity Atomic Force Microscopy. Furthermore, the measuring regime in which the probe operates is described here, as well as the basic component of the probe, the quartz tuning fork. The experimental part follows the iterative development process, and contains a chapter dedicated to making of very sharp tips. The final chapters describe the preparation of test samples, which were used to prove the functionality of the probe and the measurement of local electrical conductivity itself.