3D epitaxní tisk polovodičů pomocí elektronové pinzety
but.committee | prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (předseda) Ing. Mgr. Tomáš Šamořil, Ph.D. (člen) Ing. Mgr. Šárka Mikmeková, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D. (člen) Dr.-Ing. Birgit Jost (člen) | cs |
but.defence | Komise ocenila přístup, styl práce, prezentace a dosažené novátorské výsledky Ing. Ivety Ukropcové. | cs |
but.jazyk | angličtina (English) | |
but.program | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Bábor, Petr | en |
dc.contributor.author | Ukropcová, Iveta | en |
dc.contributor.referee | Jost, Birgit | en |
dc.contributor.referee | Šamořil, Tomáš | en |
dc.date.accessioned | 2025-07-03T03:57:45Z | |
dc.date.available | 2025-07-03T03:57:45Z | |
dc.date.created | 2025 | cs |
dc.description.abstract | Pohyb tekutých kapek je studován v mnoha odvětvích fyziky a manipulace s mikro- a nanoskopickými kapkami nabízí velký potenciál například v nanotechnologiích. V této dizertační práci je k manipulaci s AuGe kapkami na germaniovém substrátu ve skenovacím elektronovém mikroskopu použita nová technika zvaná elektronová pinzeta. Elektronový svazek vytváří v místě dopadu lokální teplotní gradient v substrátu a vyvolává směrovou termomigraci kapek směrem k elektronovému svazku. Navíc bylo ukázáno, že pokud je elektronovou pinzetou posouvána kapka, která současně slouží jako katalyzátor pro růst mikrodrátu metodou vapour-liquid-solid (pára-kapalina-pevná látka; VLS), vznikne horizontální mikrostruktura v místě trajektorie kapky. Optimalizace tohoto procesu kombinujícího elektronovou pinzetu a růst VLS je možné využít k vývoji techniky pro 3D epitaxní tisk polovodičů. | en |
dc.description.abstract | Motion of liquid droplets is studied across many subfields of physics and manipulation of micro- and nanoscale droplets on demand holds great promise in e.g., nanotechnology. In this doctoral thesis, a novel technique called electron tweezers is used to manipulate AuGe droplets on germanium substrate in scanning electron microscope. The electron beam exposure creates a local temperature gradient in a substrate and induces a directional thermomigration of droplets nearby. In addition, it was shown that if a droplet catalysing a vapour-liquid-solid (VLS) growth is moved by the electron tweezers during the growth process, a horizontal microstructure is fabricated in the droplet trajectory. Optimizing this process combining electron tweezers and VLS growth can lead to the development of a technique for 3D epitaxial printing of semiconductors. | cs |
dc.description.mark | P | cs |
dc.identifier.citation | UKROPCOVÁ, I. 3D epitaxní tisk polovodičů pomocí elektronové pinzety [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2025. | cs |
dc.identifier.other | 163094 | cs |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/11012/255152 | |
dc.language.iso | en | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | AuGe | en |
dc.subject | mikromanipulace kapek | en |
dc.subject | termomigrace | en |
dc.subject | výroba mikrostruktur | en |
dc.subject | in-situ mikroskopie | en |
dc.subject | mikroskopie atomárních sil | en |
dc.subject | AuGe | cs |
dc.subject | droplet micromanipulation | cs |
dc.subject | thermomigration | cs |
dc.subject | microstructures fabrication | cs |
dc.subject | in-situ microscopy | cs |
dc.subject | atomic force microscopy | cs |
dc.title | 3D epitaxní tisk polovodičů pomocí elektronové pinzety | en |
dc.title.alternative | 3D epitaxial printing of semiconductors using electron tweezers | cs |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | doctoralThesis | en |
dc.type.evskp | dizertační práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2025-06-27 | cs |
dcterms.modified | 2025-07-02-14:57:38 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
sync.item.dbid | 163094 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2025.07.03 05:57:44 | en |
sync.item.modts | 2025.07.03 05:32:52 | en |
thesis.discipline | bez specializace | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
thesis.level | Doktorský | cs |
thesis.name | Ph.D. | cs |
Files
Original bundle
1 - 4 of 4
Loading...
- Name:
- final-thesis.pdf
- Size:
- 7.74 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- file final-thesis.pdf
Loading...
- Name:
- thesis-1.pdf
- Size:
- 3.8 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- file thesis-1.pdf
Loading...
- Name:
- Posudek-Oponent prace-Review_Thesis_YvetaUkropcova.pdf
- Size:
- 90.88 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- file Posudek-Oponent prace-Review_Thesis_YvetaUkropcova.pdf
Loading...
- Name:
- review_163094.html
- Size:
- 9.97 KB
- Format:
- Hypertext Markup Language
- Description:
- file review_163094.html