3D epitaxní tisk polovodičů pomocí elektronové pinzety

but.committeeprof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (předseda) Ing. Mgr. Tomáš Šamořil, Ph.D. (člen) Ing. Mgr. Šárka Mikmeková, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D. (člen) Dr.-Ing. Birgit Jost (člen)cs
but.defenceKomise ocenila přístup, styl práce, prezentace a dosažené novátorské výsledky Ing. Ivety Ukropcové.cs
but.jazykangličtina (English)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petren
dc.contributor.authorUkropcová, Ivetaen
dc.contributor.refereeJost, Birgiten
dc.contributor.refereeŠamořil, Tomášen
dc.date.accessioned2025-07-03T03:57:45Z
dc.date.available2025-07-03T03:57:45Z
dc.date.created2025cs
dc.description.abstractPohyb tekutých kapek je studován v mnoha odvětvích fyziky a manipulace s mikro- a nanoskopickými kapkami nabízí velký potenciál například v nanotechnologiích. V této dizertační práci je k manipulaci s AuGe kapkami na germaniovém substrátu ve skenovacím elektronovém mikroskopu použita nová technika zvaná elektronová pinzeta. Elektronový svazek vytváří v místě dopadu lokální teplotní gradient v substrátu a vyvolává směrovou termomigraci kapek směrem k elektronovému svazku. Navíc bylo ukázáno, že pokud je elektronovou pinzetou posouvána kapka, která současně slouží jako katalyzátor pro růst mikrodrátu metodou vapour-liquid-solid (pára-kapalina-pevná látka; VLS), vznikne horizontální mikrostruktura v místě trajektorie kapky. Optimalizace tohoto procesu kombinujícího elektronovou pinzetu a růst VLS je možné využít k vývoji techniky pro 3D epitaxní tisk polovodičů.en
dc.description.abstractMotion of liquid droplets is studied across many subfields of physics and manipulation of micro- and nanoscale droplets on demand holds great promise in e.g., nanotechnology. In this doctoral thesis, a novel technique called electron tweezers is used to manipulate AuGe droplets on germanium substrate in scanning electron microscope. The electron beam exposure creates a local temperature gradient in a substrate and induces a directional thermomigration of droplets nearby. In addition, it was shown that if a droplet catalysing a vapour-liquid-solid (VLS) growth is moved by the electron tweezers during the growth process, a horizontal microstructure is fabricated in the droplet trajectory. Optimizing this process combining electron tweezers and VLS growth can lead to the development of a technique for 3D epitaxial printing of semiconductors.cs
dc.description.markPcs
dc.identifier.citationUKROPCOVÁ, I. 3D epitaxní tisk polovodičů pomocí elektronové pinzety [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2025.cs
dc.identifier.other163094cs
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/11012/255152
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectAuGeen
dc.subjectmikromanipulace kapeken
dc.subjecttermomigraceen
dc.subjectvýroba mikrostrukturen
dc.subjectin-situ mikroskopieen
dc.subjectmikroskopie atomárních silen
dc.subjectAuGecs
dc.subjectdroplet micromanipulationcs
dc.subjectthermomigrationcs
dc.subjectmicrostructures fabricationcs
dc.subjectin-situ microscopycs
dc.subjectatomic force microscopycs
dc.title3D epitaxní tisk polovodičů pomocí elektronové pinzetyen
dc.title.alternative3D epitaxial printing of semiconductors using electron tweezerscs
dc.typeTextcs
dc.type.driverdoctoralThesisen
dc.type.evskpdizertační prácecs
dcterms.dateAccepted2025-06-27cs
dcterms.modified2025-07-02-14:57:38cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid163094en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.07.03 05:57:44en
sync.item.modts2025.07.03 05:32:52en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelDoktorskýcs
thesis.namePh.D.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
7.74 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
thesis-1.pdf
Size:
3.8 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file thesis-1.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Posudek-Oponent prace-Review_Thesis_YvetaUkropcova.pdf
Size:
90.88 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file Posudek-Oponent prace-Review_Thesis_YvetaUkropcova.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_163094.html
Size:
9.97 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_163094.html
Collections