but.committee	prof. Ing. Jiří Švejcar, CSc. (předseda) Mgr. Petr Klapetek, Ph.D. (člen) Mgr. Milan Držík, CSc. (člen) prof. Ing. Josef Lazar, Dr. (člen) doc. Ing. Vladimír Kolařík, Ph.D. (člen) Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (člen)	cs
but.defence	Téma disertace se zabývá aktuálním problémem mapováním optických vlastností tenkých vrstev s vysokým uplatněním v optice a polovodičových technologiích. Výsledky doktorand publikovat v reprezentativních časopisech. Teze práce: Vytvořit samostatný odstavec s uvedením cílů disertace a jejich splněním.	cs
but.jazyk	čeština (Czech)
but.program	Fyzikální a materiálové inženýrství	cs
but.result	práce byla úspěšně obhájena	cs
dc.contributor.advisor	Ohlídal, Miloslav	cs
dc.contributor.author	Vodák, Jiří	cs
dc.contributor.referee	Držík,, Milan	cs
dc.contributor.referee	Klapetek, Petr	cs
dc.date.created	2017	cs
dc.description.abstract	Práce se zabývá technikou zobrazovací spektroskopické reflektometrie vyvíjenou na Ústavu fyzikálního inženýrství Vysokého učení technického v Brně. Jedná se o techniku vhodnou k charakterizaci vzorků neuniformních podél jejich povrchu. Technika je primárně používána k optické charakterizaci tenkých vrstev. V úvodní části práce jsou popsány základní fyzikální principy, na kterých je technika založena. Dále je popsána metodika získávání měřených dat a základní popis metod zpracování těchto dat. Je rovněž popsán základní koncept zobrazovacího spektroskopického reflektometru včetně rozboru různých variant jednotlivých částí přístroje. V hlavní části se práce zabývá popisem dvou realizovaných přístrojů včetně popisu některých kroků při vývoji těchto přístrojů. Jsou také prezentovány výsledky měření provedených se zmíněnými přístroji. V závěru práce je pak nastíněn a odůvodněn směr vývoje techniky zobrazovací spektroskopické reflektometrie k zobrazovací spektroskopické elipsometrii.	cs
dc.description.abstract	The work deals with a technique of imaging spectroscopic reflectometry developed at The Institute of Physical Engineering, Brno University of Technology. The technique is well suited for characterization of samples non–uniform along their surfaces. The technique is primarily used for optical characterization of thin films. First part of the work is focused on basic physical principles of the technique and on ways in which measurement data are obtained. It contains a basic description of evaluating methods and a basic concept of an imaging spectroscopic reflectometer with a description of main parts of such a device. The main part of the work is focused on a description of two devices which were built at The Institute of Physical Engineering together with a description of some of upgrades which were implemented to these devices during their development. A description of measurements done with the two devices is also included. Last part of the work is then focused on further development of the technique. Intention of possible evolution of the technique to imaging spectroscopic ellipsometry is proposed.	en
dc.description.mark	P	cs
dc.identifier.citation	VODÁK, J. Návrh a realizace zobrazovacího reflektometru 2. generace a jeho aplikace v optické analýze tenkých vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2017.	cs
dc.identifier.other	98174	cs
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11012/63676
dc.language.iso	cs	cs
dc.publisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství	cs
dc.rights	Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení	cs
dc.subject	Zobrazovací spektroskopická reflektometrie	cs
dc.subject	optická charakterizace	cs
dc.subject	tenké vrstvy.	cs
dc.subject	maging spectroscopic reflectometry	en
dc.subject	optical characterization	en
dc.subject	thin films.	en
dc.title	Návrh a realizace zobrazovacího reflektometru 2. generace a jeho aplikace v optické analýze tenkých vrstev	cs
dc.title.alternative	Design and Realization of the Second Generation Imaging Reflectometer and its Application in Optical Analysis of Thin Films	en
dc.type	Text	cs
dc.type.driver	doctoralThesis	en
dc.type.evskp	dizertační práce	cs
dcterms.dateAccepted	2017-03-23	cs
dcterms.modified	2017-03-24-09:35:37	cs
eprints.affiliatedInstitution.faculty	Fakulta strojního inženýrství	cs
sync.item.dbid	98174	en
sync.item.dbtype	ZP	en
sync.item.insts	2025.03.27 14:42:22	en
sync.item.modts	2025.01.17 09:54:04	en
thesis.discipline	Fyzikální a materiálové inženýrství	cs
thesis.grantor	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství	cs
thesis.level	Doktorský	cs
thesis.name	Ph.D.	cs

Návrh a realizace zobrazovacího reflektometru 2. generace a jeho aplikace v optické analýze tenkých vrstev

Files

Original bundle

Collections