Studium povrchové kontaminace optických dílů pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS

Abstract

Tato práce se věnuje studiu povrchové kontaminace optických dílů metodou rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS. Výskyt povrchových nečistot na optických komponentách má negativní dopad na tenké vrstvy na ně nanášené. Ke kontaminaci může docházet mezi jednotlivými kroky výroby. Určením složení těchto nečistot by bylo možné jim předcházet a zvýšit tak efektivitu vrstvících procesů. Měření je prováděno na pravoúhlých optických hranolech za pokojové teploty. Zabýváme se také konstrukcí držáku vzorků s možností jejich vyhřívání v preparační komoře. Dále se věnujeme referenčním měřením k následné kvantifikaci povrchových nečistot.This thesis focuses on study of surface contamination of optical elements using the low energy ion scattering method, LEIS. Presence of surface contaminations on optical elements has a negative contribution on thin layers that are applied upon them. The contamination can occur between the steps of manufacturing process. By determining the composition of the contaminations it could be possible to increase effectiveness during the growth of thin layers. Measurement is realised on right angle prisms at room temperature. We also focus on construction of sample holder that would allow heating of samples in the preparation chamber. Later we measure reference spectra for quantification of surface contamination.