MEMS technologie snímání náklonu

Abstract

V poslední době klademe na zařízení kolem nás čím dál větší požadavky. Výjimku netvoří ani potřeba vědět, pod jakým úhlem je zařízení nakloněno. Použití je od herních konzolí, přes mobilní telefony až po zařízení určené pro lékařské účely. Náklon se počítá pomocí směru gravitačního zrychlení, které měříme akcelerometry. Akcelerometr je senzor, který pro měření zrychlení využívá setrvačnosti hmoty. Vývoj nás nutí stále vše zmenšovat, tím se otvírá možnost pro tzv. MEMS (mikro-elektromechanické) akcelerometry. Tyto senzory, vyrobené MEMS technologií, nahrazují v poslední době klasické mechanické senzory, které jsou mnohem větší, energeticky náročnější a v poslední době i podstatně dražší. Pro některé aplikace jsou ale tyto součástky, založené na MEMS technologii, stále nedostatečně přesné. Pomocí tohoto systému je vyráběno mnoho druhů akcelerometrů s různými technologiemi výroby a pracujících na různých principech. My se pokusíme porovnat dva akcelerometry od konkurenčních firem.Recently we put more requirements on the equipment around us. And very often we need know, how hung angle-wise of equipment is. Measuring of tilt is very important and used for example in gaming consoles, mobile phone, medical purposes and other. Tilt is calculated per direction of gravity acceleration, it measures by accelerometers. Accelerometer is sensor, which exploit masses inertia to calculate of acceleration. Development put pressure to us and reason is miniaturizing of everything and there is possibility to use micro-electromechanical, so-called MEMS, accelerometers. At last time sensors made by MEMS technology replacing classical mechanic sensors, which is bigger, more power exacting and last time considerably more expensive. But parts makes by MEMS technology aren’t enough accurate for some applications. Despite it is by this principle manufactured much kinds of accelerometers with different technologies of manufacture and work on different principles. We try to compare two accelerometers from two competitive factories.