Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorKvapil, Michalcs
dc.contributor.authorBabocký, Jiřícs
dc.contributor.refereeViewegh, Petrcs
dc.date.created2012cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá výrobou plazmonických antén pomocí elektronové litografie. V první části jsou shrnuty informace o technologiích použitelných pro tvorbu kovových nano a mikrostruktur na křemíkovém a skleněném substrátu. V další části je popsána metoda elektronové litografie a technologie, které jsou pro ni používány. V závěrečné části jsou popsány provedené experimenty a vytvořen empirický model popisující závislost velikosti vyrobených struktur na parametrech litografie.cs
dc.description.abstractThis beachelor’s thesis deals with a fabrication of plasmonic antennas using electron beam lithography. First section consists of summary of a technologies that can be used for production of metallic micro and nanostructures on silicon and glass substrate. Second section provides a description of electron beam lithography method and technologies that are used for it. Final part describes experiments, that were done and empiric model describing dependance of dimension of fabricated structures on lithographic parameters.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationBABOCKÝ, J. Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2012.cs
dc.identifier.other51005cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/17207
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectEBLcs
dc.subjectelektronová litografiecs
dc.subjectplazmonické anténycs
dc.subjectempirický modelcs
dc.subjectEBLen
dc.subjectelectron beam lithographyen
dc.subjectplasmonic antennasen
dc.subjectempiric modelen
dc.titleTvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografiecs
dc.title.alternativeCreation of plasmonic micro- and nanostructures by electron beam lithographyen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2012-06-20cs
dcterms.modified2012-06-25-10:24:10cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid51005en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 00:23:34en
sync.item.modts2025.01.17 11:17:13en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
3.69 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.pdf
Size:
261.51 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_51005.html
Size:
8.26 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_51005.html
Download
Collections
2012