Depozice cínem dopovaného oxidu inditého a výzkum jeho optických vlastností
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Viewegh, Petr | cs |
| dc.contributor.author | Olivíková, Gabriela | cs |
| dc.contributor.referee | Kvapil, Michal | cs |
| dc.date.created | 2015 | cs |
| dc.description.abstract | Tato práce se zabývá přípravou a depozicí tenkých vrstev cínem dopovaného oxidu inditého (ITO) metodou iontového naprašování (IBS) s možností asistované depozice pomocí sekundárního iontového svazku (IBAD). V teoretické části je zpracována rešeršní studie zabývající se optickými a elektrickými vlastnostmi ITO, metodami používanými k jeho přípravě a aplikacemi.V experimentální části jsou zkoumány optické a transportní vlastnosti vrstev pomocí spektroskopických metod. Je ukázáno, že použití asistujícího svazku kyslíkových iontů o energii 80 eV vede ke zvýšení propustnosti deponovaných vrstev ve viditelné oblasti spektra a že IBAD je vhodnou metodou k modifikaci optických vlastností ITO. | cs |
| dc.description.abstract | This work is focused on preparation and deposition of thin layers of indium tin oxide (ITO) by ion beam sputtering (IBS) and ion beam assisted deposition (IBAD). In the theoretical part, the electrical and optical properties, preparation methods, and applications are reviewed. In the experimental part, the optical and transport properties of deposited films are investigated by spectroscopic methods. It is shown that simultaneous bombardment of the surface with oxygen ions with energy 80 eV results in increase of transmittance in the visible range of spectrum. IBAD thus confirmed as a suitable method for modification of optical properties. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | OLIVÍKOVÁ, G. Depozice cínem dopovaného oxidu inditého a výzkum jeho optických vlastností [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015. | cs |
| dc.identifier.other | 84254 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/41257 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | cínem dopovaný oxid inditý | cs |
| dc.subject | iontové naprašování | cs |
| dc.subject | iontové naprašování s asistujícím iontovým svazkem | cs |
| dc.subject | spektroskopická elipsometrie | cs |
| dc.subject | indium tin oxide | en |
| dc.subject | ion beam sputteing | en |
| dc.subject | ion beam assisted deposition spectroscopic ellipsometry | en |
| dc.title | Depozice cínem dopovaného oxidu inditého a výzkum jeho optických vlastností | cs |
| dc.title.alternative | Deposition of Indium Tin Oxide and study of its optical properties | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2015-06-24 | cs |
| dcterms.modified | 2024-05-17-12:52:49 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 84254 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 07:10:50 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 20:52:41 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |