Imaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Properties

Simple item page
but.defencePředložená disertace má vysokou odbornou úroveň, protože spojuje teoretické východisko s experimentem a s výhledem na praktické využití. Autor prokázal svou schopnost samostatné vědecko-výzkumné práce.cs
but.jazykangličtina (English)
but.programAplikace přírodních vědcs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorDruckmüller, Miloslaven
dc.contributor.authorBěhounek, Tomášen
dc.contributor.refereeSpousta, Jiříen
dc.contributor.refereeZicha,, Josefen
dc.contributor.refereeKotačka, Liboren
dc.date.created2009cs
dc.description.abstractV této práci je prezentována inovativní metoda zvaná \textit{Zobrazovací Reflektometrie}, která je založena na principu spektroskopické reflektometrie a je určena pro vyhodnocování optických vlastností tenkých vrstev .\ Spektrum odrazivosti je získáno z map intenzit zaznamenaných CCD kamerou. Každý záznam odpovídá předem nastavené vlnové délce a spektrum odrazivosti může být určeno ve zvoleném bodu nebo ve vybrané oblasti.\ Teoretický model odrazivosti se fituje na naměřená data pomocí Levenberg~-~Marquardtova algoritmu, jehož výsledky jsou optické vlastnosti vrstvy, jejich přesnost, a určení spolehlivosti dosažených výsledků pomocí analýzy citlivosti změn počátečních nastavení optimalizačního algoritmu.en
dc.description.abstractAn innovative method of evaluating thin film optical properties, the so called {\it Imaging Reflectometry} based on principles of spectroscopic reflectometry is presented in this thesis.\ Reflectance spectra of the film is extracted from intensity maps recorded by CCD camera, that correspond to chosen wavelengths, either over selected area or at one point.\ A theoretical model of reflectance is fitted to experimental data (the extracted reflectance spectra) by applying Levenberg~-~Marquardt algorithm in order to determine optical properties, their accuracy and reliability factor used to quantify a convergence successfulness of the reflectance model and hence the quality of the acquired results at given settings in a sense of a sensitivity analysis.cs
dc.description.markPcs
dc.identifier.citationBĚHOUNEK, T. Imaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Properties [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.cs
dc.identifier.other29799cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/18281
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectTenká vrstvaen
dc.subjectoptické vlastnostien
dc.subjectreflektometrieen
dc.subjectdisperzní modelen
dc.subjectodrazivosten
dc.subjectspektrum odra\-zivostien
dc.subjectnelineární regreseen
dc.subjectmetoda nejmenších čtvercůen
dc.subjectLevenberg~-~Marquardten
dc.subjectanalýza citlivostien
dc.subjectfaktor spolehlivostien
dc.subjectzpracování obrazuen
dc.subjectaditivní šumen
dc.subjectobrazový filtren
dc.subjectThin filmcs
dc.subjectoptical propertiescs
dc.subjectreflectometrycs
dc.subjectdispersion modelcs
dc.subjectreflectancecs
dc.subjectreflectance spectracs
dc.subjectnonlinear regressioncs
dc.subjectsum of the least squarescs
dc.subjectLevenberg~-~Marquardtcs
dc.subjectsensitivity analysiscs
dc.subjectreliability factorcs
dc.subjectimage processingcs
dc.subjectadditive noisecs
dc.subjectimage filtercs
dc.titleImaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Propertiesen
dc.title.alternativeImaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Propertiescs
dc.typeTextcs
dc.type.driverdoctoralThesisen
dc.type.evskpdizertační prácecs
dcterms.dateAccepted2009-12-15cs
dcterms.modified2009-12-18-07:25:55cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid29799en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 13:14:00en
sync.item.modts2025.01.15 22:44:53en
thesis.disciplineAplikovaná matematikacs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav matematikycs
thesis.levelDoktorskýcs
thesis.namePh.D.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
3.08 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
thesis-1.pdf
Size:
960.51 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
thesis-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_29799.html
Size:
1.88 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_29799.html
Download
Collections
2009