Optimalizace scintilačního detektoru pro detekci nízkoenegiových signálních elektronů v elektronové mikroskopii

but.committeeprof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. - oponent (člen) doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen) doc. Ing. Josef Jirák, CSc. (člen) prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (člen) prof. Ing. Pavel Koktavý, CSc. Ph.D. (člen) prof. Ing. Václav Uruba, CSc. - oponent (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika a komunikační technologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorNeděla, Vilémcs
dc.contributor.authorTihlaříková, Evacs
dc.contributor.refereeKadlec, Jaromírcs
dc.contributor.refereeUruba, Václavcs
dc.date.accessioned2020-12-19T23:57:40Z
dc.date.available2020-12-20cs
dc.date.created2017cs
dc.description.abstractDizertační práce se zabývá optimalizací scintilačního detektoru pro účinnou detekci nízkoenergiových signálních elektronů v komoře vzorku rastrovacího elektronového mikroskopu. Řešení vycházelo ze studia mechanismů ztrát energie signálních elektronů během jejich interakce s vodivou vrstvou a scintilátorem, které je možné studovat pomocí simulací založených na stochastické metodě Monte Carlo. Na základě testovacích simulací a srovnání jejich výsledků s dostupnými experimentálními daty byl vybrán vhodný Monte Carlo software. Následně byly kvantifikovány ztráty energie signálních elektronů rozdílných energií při jejich průchodu konkrétními vodivými vrstvami na povrchu scintilátorů a během jejich interakce se scintilátory. Výsledky simulací umožnily definovat kritéria pro optimalizaci vodivých vrstev, které byly následně naneseny na scintilátory a experimentálně měřeny ve scintilačním detektoru rastrovacího elektronového mikroskopu. Tato měření umožnila verifikovat výsledky simulací a poskytla řadu nových informací o vlivu materiálu a tloušťky vodivých vrstev, v kombinaci s materiálem scintilátoru a světlovodu. Zvýšení detekční účinnosti scintilačního detektoru s optimalizovanými vodivými vrstvami, schopného detekovat nízkoenergiové signálních elektrony, bylo experimentálně prokázáno.cs
dc.description.abstractThe dissertation thesis deals with optimization of the scintillation detector for efficient detection of low energy signal electrons in a specimen chamber of a scanning electron microscope. The solution was based on the study of signal electron energy loss mechanisms during their interaction with a conductive layer and a scintillator that can be studied using simulations based on the stochastics Monte Carlo methods. Based on test simulations and their comparison with experimental data, the ideal Monte Carlo software was chosen and used for the study of signal electron energy losses during their transport through the conductive layer as well as following interaction with scintillator, in dependency on the signal electron energy. Simulation results allowed to define criteria for the optimization of the conductive layer. According to these parameters, the optimized layers were deposited on the surface of different scintillators and experimentally tested in the scintillation detector of the scanning electron microscope. Experimental measurements allowed to verify accomplished simulations and provide new information about impact of materials and thicknesses of conductive layers in combination with materials of scintillators and light guides. The increase of the detection efficiency of the scintillation detector equipped with optimised conductive layers and its capability to detect low energy signal electrons were experimentally proved.en
dc.description.markPcs
dc.identifier.citationTIHLAŘÍKOVÁ, E. Optimalizace scintilačního detektoru pro detekci nízkoenegiových signálních elektronů v elektronové mikroskopii [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2017.cs
dc.identifier.other106051cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/69927
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsPřístup k plnému textu prostřednictvím internetu byl licenční smlouvou omezen na dobu 3 roku/letcs
dc.subjectRastrovací elektronový mikroskopcs
dc.subjectMonte Carlo simulacecs
dc.subjectscintilační detektorcs
dc.subjectscintilátorcs
dc.subjectvodivá vrstvacs
dc.subjectsvětlovodcs
dc.subjectsignální elektrony.cs
dc.subjectScanning electron microscopeen
dc.subjectMonte Carlo simulationsen
dc.subjectscintillation detectoren
dc.subjectscintillatoren
dc.subjectconductive layeren
dc.subjectlight guideen
dc.subjectsignal electrons.en
dc.titleOptimalizace scintilačního detektoru pro detekci nízkoenegiových signálních elektronů v elektronové mikroskopiics
dc.title.alternativeOptimization of scintillation detector for detection of low energy signal electrons in electron microscopyen
dc.typeTextcs
dc.type.driverdoctoralThesisen
dc.type.evskpdizertační prácecs
dcterms.dateAccepted2017-12-20cs
dcterms.modified2017-12-20-13:44:26cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid106051en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 21:24:07en
sync.item.modts2021.11.12 20:05:44en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelDoktorskýcs
thesis.namePh.D.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
4.33 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Posudek-Oponent prace-Kadlec_Oponentsky posudek_Tihlarikova_final.pdf
Size:
223.54 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek-Oponent prace-Kadlec_Oponentsky posudek_Tihlarikova_final.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Posudek-Oponent prace-Uruba_posudekTihlarikova.pdf
Size:
318.67 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek-Oponent prace-Uruba_posudekTihlarikova.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_106051.html
Size:
2.82 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_106051.html
Collections