Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (člen) doc. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo diskutováno Zdroje iontů. Student na otázku odpověděl.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorPavera, Michalcs
dc.contributor.authorOčkovič, Adamcs
dc.contributor.refereeVařeka, Karelcs
dc.date.accessioned2022-06-16T06:52:43Z
dc.date.available2022-06-16T06:52:43Z
dc.date.created2022cs
dc.description.abstractBakalářská práce je zaměřena na úpravu sond s integrovaným senzorem využitelných pro měření vodivostních charakteristik povrchů v mikroskopii atomárních sil. V první části je uvedena teorie týkající se mikroskopie atomárních sil, vodivostního měření a depozice pomocí iontového svazku. Dále je zde popsán způsob výroby a limitace použití elektricky vodivých sond s opticky čtenou výchylkou. V praktické části jsou uvedeny hlavní problémy sond s integrovanými senzory při vodivostním měření. Dále je popsána samotná úprava sond, provedené měření s těmito sondami a návrhy pro zlepšení vlastností sond.cs
dc.description.abstractThe bachelor's thesis is focused on the modification of probes with an integrated sensor usable for measuring conductivity characteristics of surfaces in atomic force microscopy. The first part presents the theory concerning atomic force microscopy, conductivity measurement and deposition using an ion beam. Furthermore, the method of production and limitation of the use of electrically conductive probes with optically read deflection is described. The practical part presents the main problems of probes with integrated sensors in conductivity measurements. Furthermore, the modification of the probes themselves, the measurements made with these probes and suggestions for improving the properties of the probes are described.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationOČKOVIČ, A. Sondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2022.cs
dc.identifier.other139598cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/205880
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectSPMcs
dc.subjectAFMcs
dc.subjectCAFMcs
dc.subjectFIBcs
dc.subjectFIBIDcs
dc.subjectPiezorezistivní snímání s aktivním článkemcs
dc.subjectvodivostcs
dc.subjectSPMen
dc.subjectAFMen
dc.subjectCAFMen
dc.subjectFIBen
dc.subjectFIBIDen
dc.subjectPiezo-Resistive sensing \& Activeen
dc.subjectconductivityen
dc.titleSondy SPM s integrovaným senzorem pro měření elektrických vlastností materiálůcs
dc.title.alternativeSelf-sensing SPM probes for measuring electrical properties of materialsen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2022-06-15cs
dcterms.modified2022-06-15-14:16:30cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid139598en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2022.06.16 08:52:43en
sync.item.modts2022.06.16 08:19:35en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
8.82 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_139598.html
Size:
10.87 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_139598.html
Collections