Příprava vysoce definovaných nanoporézních struktur s využitím v membránové biosensorice
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou plasmonického biosensoru založeného na vysoce definovaných porézních strukturách vytvořených v nitridu křemíku obsahujících kovové nanomenhiry. Tyto porézní struktury byly připraveny pomocí metody reaktivního iontového leptání nitridové vrstvy skrze dočasnou masku připravenou elektronovou litografií následované depozicí kovové vrstvy tvořící finální nanomenhiry pomocí napařování a magnetronového naprašování. Práce shrnuje finálně dosažené výsledky a předkládá úspěšný návrh postupu výroby sensoru bez kovové kontaminace nosného povrchu.
Theme of this bachelor thesis is focused on preparation of the metal nanomenhir structures situated in highly oriented matrix of silicon nitride nanopores based plasmonic biosensor. Porous structures were prepared by reactive ion etching of silicon nitride film using electron beam lithography prepared temporary mask as a template. Deposition of metals was handled by evaporation and magnetron sputtering and results was compared. Finally, this work assumes reached results including successful approach of sensor preparation without contamination of surrounding surface by heavy metal ions.
Theme of this bachelor thesis is focused on preparation of the metal nanomenhir structures situated in highly oriented matrix of silicon nitride nanopores based plasmonic biosensor. Porous structures were prepared by reactive ion etching of silicon nitride film using electron beam lithography prepared temporary mask as a template. Deposition of metals was handled by evaporation and magnetron sputtering and results was compared. Finally, this work assumes reached results including successful approach of sensor preparation without contamination of surrounding surface by heavy metal ions.
Description
Citation
FABIANOVÁ, K. Příprava vysoce definovaných nanoporézních struktur s využitím v membránové biosensorice [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2016-06-23
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení