Studium povrchů tenkovrstvých materiálů

Simple item page
but.defencePředseda komise představil doktoranda, poté proběhla powerpiointová prezentace. Byly přečteny posudky, všechny kladné a Ing. Trivedi zodpověděl uspokojivým způsobem dotazy v nich obsažené. Dále se rozproudila diskuze o tématu práce.cs
but.jazykangličtina (English)
but.programChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorČech, Vladimíren
dc.contributor.authorTrivedi, Rutul Rajendraen
dc.contributor.refereeFejfar, Antonínen
dc.contributor.refereeKlapetek, Petren
dc.contributor.refereeŠikola, Tomášen
dc.date.created2011cs
dc.description.abstractDisertační práce se zabývá studiem povrchových vlastností jedno a vícevrstvých filmů deponovaných z vinyltriethoxysilanových a tetravinylsilanových monomerů. Zabývá se také charakterizací adheze jednovrstvých filmů z tetravinylsilanu. Plazmaticky polymerizované tenké vrstvy byly připraveny na leštěných křemíkových substrátech pomocí plazmové depozice z plynné fáze za ustálených podmínek. Povrchové vlastnosti vrstev byly charakterizovány pomocí různých metod rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentačních technik jako je konvenční a cyklická nanoindentace. Vrypový test byl použit pro charakterizaci vlastností adheze vrstev. Jednovrstvé filmy připravené za různých depozičních podmínek byly charakterizovány s ohledem na povrchové morfologie a mechanické vlastností (modul pružnosti, tvrdost). Výsledky morfologie povrchu, analýzy zrn, nanoindentace, analýzy konečných prvků a modulů mapování pomohly rozlišit hybridní charakter filmů, které byly deponovány při vyšších výkonech RF-výboje. Nový přístup byl použit v povrchové charakterizaci vícevrstvého filmu pomocí rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentace. Adhezívní chování plazmaticky polymerizovaných vrstev různých mechanických vlastností a tloušťek bylo analyzováno pomocí normálních a laterálních síl, koeficientu tření, a snímků vrypů získaných pomocí mikroskopie atomárních sil.en
dc.description.abstractdoctoral thesis deals with the study of surface properties of single-layer and multilayer thin films deposited from of vinyltriethoxysilane and tetravinylsilane monomers. It also deals with adhesion characterization of single layer tetravinylsilane films. The plasma polymerized thin films were prepared under steady-state deposition conditions on polished silicon wafers using plasma-enhanced chemical vapor deposition. The surface properties of the films were been characterized by different scanning probe microscopy methods and nanoindentation techniques such as conventional depth-sensing nanoindentation and load-partial-unload (cyclic) nanoindentation. While, the nanoscratch test was used to characterize the film adhesion properties. Single layer films prepared at different deposition conditions were characterized with respect to surface morphology and mechanical properties (Young’s modulus and hardness). The results of surface morphology, grain analysis, nanoindentation, finite elemental analysis and modulus mapping helped to know the hybrid nature of single layer films that were deposited at higher powers of RF-discharge. A novel approach was used in surface characterization of multilayer film by scanning probe microscopy and nanoindentation. The adhesion behavior of plasma polymer films of different mechanical properties and film thickness were analyzed by normal and lateral forces, friction coefficient, and scratch images obtained by atomic force microscopy.cs
dc.description.markPcs
dc.identifier.citationTRIVEDI, R. Studium povrchů tenkovrstvých materiálů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2011.cs
dc.identifier.other36922cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/15849
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemickács
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectplazmový polymeren
dc.subjectmultivrstvaen
dc.subjectskenovací sondová mikroskopieen
dc.subjectmikroskopie atomárních silen
dc.subjectkonvenční nanoindentaceen
dc.subjectcyklická nanoindentaceen
dc.subjectadhezeen
dc.subjectvrypová zkouškaen
dc.subjectplasma polymercs
dc.subjectmultilayer filmcs
dc.subjectscanning probe microscopycs
dc.subjectatomic force microscopycs
dc.subjectconventional nanoindentationcs
dc.subjectcyclic nanoindentationcs
dc.subjectadhesioncs
dc.subjectscratch testcs
dc.titleStudium povrchů tenkovrstvých materiálůen
dc.title.alternativeStudy of Thin-Film Surfacescs
dc.typeTextcs
dc.type.driverdoctoralThesisen
dc.type.evskpdizertační prácecs
dcterms.dateAccepted2011-01-25cs
dcterms.modified2011-02-14-14:46:24cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta chemickács
sync.item.dbid36922en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 11:41:56en
sync.item.modts2025.01.17 10:46:37en
thesis.disciplineChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav chemie materiálůcs
thesis.levelDoktorskýcs
thesis.namePh.D.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
4.21 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
thesis-1.pdf
Size:
1.22 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
thesis-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_36922.html
Size:
18.56 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_36922.html
Download
Collections
2011