The Impact Of Critical Flow In Differentially Pumped Chamber

Abstract

Environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), který je konstruován pro vysoký tlak plynů v komoře vzorku namísto vakua, umožňuje studovat vzorky obsahující vodu nebo živé biologické vzorky bez nutnosti jejich speciální úpravy. To z důvodu, že mezi komoru vzorku a tubus je vložena diferenciálně čerpaná komora. Vzhledem k velkým tlakovým spádům u této konstrukce dochází při čerpání plynu k nadzvukovému proudění za clonou oddělující komoru vzorku od diferenciálně čerpané komory. To se projevuje specifickým jevem kritického proudění ve cloně a poklesem tlaku v proudu v nadzvukové oblasti. Vhodnou konstrukční úpravou je možné využít daný jev a docílit snížení průměrného tlaku plynu ve dráze primárního svazku. To má za následek snížení rozptylu primárního svazku a zvýšení ostrosti výsledného obrazu.