Elektrotransportní vlastnosti nanostruktur připravených metodou FIB
but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
but.jazyk | čeština (Czech) | |
but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Urbánek, Michal | cs |
dc.contributor.author | Ostřížek, Petr | cs |
dc.contributor.referee | Kolíbalová, Eva | cs |
dc.date.created | 2011 | cs |
dc.description.abstract | Tato práce se zabývá tvrobou nanostruktur a měřením jejich elektrotransportních vlastností. Pro tvorbu nanostruktur byly použity dvě základní metody - elektronová litografie spojená s naprašováním a fokusovaný iontový svazek ve spojení s depozicí z plynné fáze. U připravených nanostruktur - drátů byla pomocí čtyřbodové metody měřena volt-ampérová charakteristika, ze které se snadno získají hodnoty odporu materiálu. Zvoleným materiálem pro dráty připravené litografickými metodami byla slitina niklu a železa (permalloy). Materiál struktur připravených metodou depozice z plynné fáze pomocí fokusovaného iontového svazku byla platina. | cs |
dc.description.abstract | The aim of this work is fabrication of nanostructures and measurement of their electrotransport properties. There are two different methods used for fabrication - electron beam lithography with sputtering of thin films and focused ion beam with deposition from gas phase. I-V characteristic was measured for characterisation of as prepared nanostructures - wires. Material of wires prepared by using of electron beam lithography was permalloy - an alloy of iron and nickel. Second types of wires prepared by using of chemical vapor deposition induced by focused ion beam was platinum based. | en |
dc.description.mark | D | cs |
dc.identifier.citation | OSTŘÍŽEK, P. Elektrotransportní vlastnosti nanostruktur připravených metodou FIB [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2011. | cs |
dc.identifier.other | 33809 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/8522 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | Fokusovaný iontový svazek | cs |
dc.subject | elektronová litografie | cs |
dc.subject | vodivost | cs |
dc.subject | Focused ion beam | en |
dc.subject | electron lithography | en |
dc.subject | conductivity | en |
dc.title | Elektrotransportní vlastnosti nanostruktur připravených metodou FIB | cs |
dc.title.alternative | Electrotransport properties of the nanostructures fabricated by the FIB | en |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | masterThesis | en |
dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2011-06-20 | cs |
dcterms.modified | 2011-06-22-15:15:43 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
sync.item.dbid | 33809 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2025.03.27 06:56:07 | en |
sync.item.modts | 2025.01.17 09:59:08 | en |
thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
thesis.level | Inženýrský | cs |
thesis.name | Ing. | cs |
Files
Original bundle
1 - 3 of 3
Loading...
- Name:
- final-thesis.pdf
- Size:
- 11.49 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- final-thesis.pdf
Loading...
- Name:
- review_33809.html
- Size:
- 11.17 KB
- Format:
- Hypertext Markup Language
- Description:
- file review_33809.html