Napájecí zdroj pro pulsní magnetronové naprašování
Loading...
Date
Authors
Chochola, Ondřej
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Předkládaná práce se zabývá teorií depozice velmi tenkých vrstev pomocí pulsního magnetronového naprašování a návrhem, realizací a testováním napájecího zdroje pro pulsní magnetronové naprašování.
The delivered thesis deals with the theory of very thin layers deposition by means of pulse magnetron sputtering and the proposal, realization and testing of the power supply source for the pulse magnetron sputtering.
The delivered thesis deals with the theory of very thin layers deposition by means of pulse magnetron sputtering and the proposal, realization and testing of the power supply source for the pulse magnetron sputtering.
Description
Keywords
Depozice , pulsní , magnetron , naprašování , pájecí zdroj , náhradní obvod , výboj , Deposition , pulse , magnetron , sputtering , power supply , substitute circuit , discharge
Citation
CHOCHOLA, O. Napájecí zdroj pro pulsní magnetronové naprašování [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Lubomír Hudec, DrSc. (předseda)
doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (místopředseda)
doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2008-06-11
Defence
Student seznámil komisi se svou bakalářskou prací.
Diskuse se rozvinula ohledně simulace výboje pomocí zátěže,
kterou student realizoval a před komisí obhajoval vlastní přístup
s umělou zátěží.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena