Výzkum pokročilých mikroskopických a litografických technik AFM

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá testováním a úpravami environmentální komory pro mikroskop atomárních sil NTegra Prima a implementací dutých sond FluidFM do tohoto mikroskopu. Funkční implementace dutých sond do NTegra Prima spolu s možností řídit okolní atmosféru umožní provádět nanolitografické experimenty s danou sestavou. Nejprve je zmapován vývoj dutých sond a systému FluidFM. Jsou zmíněny jejich vlastnosti a uplatnění. V další části je představena použitá AFM sestava a environmentální komora. Je popsáno testování komory a navržené a realizované úpravy této komory. Byla úspěšně zajištěna plná funkčnost environmentální komory. Dále jsou uvedeny a zhodnoceny výsledky měření v nízkém vakuu. Na závěr je prezentována úspěšná implementace duté sondy do mikroskopu a výsledky měření topografie touto sondou. Výsledky tohoto měření dutou sondou jsou porovnány s měřením sondou normální.This bachelor’s thesis is about testing and improving the environmental chamber for atomic force microscope NTegra Prime and implementing hollow probes FluidFM to this microscope. A functional implementation of hollow probes to NTegra Prima together with the ability to control the atmosphere allows us to carry out nanolithography experiments with this setup. At first, the development of hollow probes and the system FluidFM is mentioned together with properties and applications. In next chapter, the AFM setup and environmental chamber is introduced. Testing of the chamber is described and enhancements presented. Next, the results of measurements in vacuum are mentioned. At the end, the implementation of hollow probes together with measurements are presented. These results are compares with measurement results with normal probe.