Detekce signálních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu
Loading...
Date
Authors
Šváb, Martin
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Tato práce se zabývá problematikou činnosti environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (EREM) a detekcí signálních elektronů při vyšších tlacích v komoře vzorku mikroskopu. V práci se zaměřím na porovnání velikosti detekovaného signálu za různých podmínek v komoře vzorku, jako je změna tlaku a změna napětí na elektrodách detektoru při konstantním nastavení parametrů elektronového svazku.
This bachelor's thesis deals with problems of environmental scanning electron microscopy and with detection of signal electrons at higher pressure in working chamber. In this thesis I will focus on comparison of detected signal level achieved under different working conditions.
This bachelor's thesis deals with problems of environmental scanning electron microscopy and with detection of signal electrons at higher pressure in working chamber. In this thesis I will focus on comparison of detected signal level achieved under different working conditions.
Description
Citation
ŠVÁB, M. Detekce signálních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2012.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
doc. Ing. Radek Polanský, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Ing. Petr Dvořák, Ph.D. (člen)
Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2012-06-11
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena